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1. (WO2019052705) METHOD FOR MACHINING A WORKPIECE DURING THE PRODUCTION OF AN OPTICAL ELEMENT
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Pub. No.: WO/2019/052705 International Application No.: PCT/EP2018/067910
Publication Date: 21.03.2019 International Filing Date: 03.07.2018
IPC:
B29D 11/00 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29
WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
D
PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
11
Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
Applicants:
WOLPERT, Andreas [DE/DE]; DE (US)
STICKEL, Franz-Josef [DE/DE]; DE (US)
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE (AllExceptUS)
Inventors:
WOLPERT, Andreas; DE
STICKEL, Franz-Josef; DE
Agent:
FRANK, Hartmut; DE
Priority Data:
10 2017 216 128.013.09.2017DE
Title (EN) METHOD FOR MACHINING A WORKPIECE DURING THE PRODUCTION OF AN OPTICAL ELEMENT
(FR) PROCÉDÉ POUR USINER UNE PIÈCE LORS DE LA FABRICATION D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE
(DE) VERFAHREN ZUM BEARBEITEN EINES WERKSTÜCKS BEI DER HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS
Abstract:
(EN) The invention relates to a method for machining a workpiece during the production of an optical element, particularly for microlithography, the method comprising at least one machining process, in which a relative movement between the workpiece (110, 210) and a tool is carried out, during which the tool is intermittently guided over an overshoot section protruding over the workpiece surface to be machined, the overshoot section being formed in such a way that a region adjacent to the workpiece surface to be machined is filled with a filler (120, 220) in the liquid state, said filler (120, 220) being hardened before the machining process is carried out on the workpiece (110, 210), the filler (120, 220) being removed once the machining process has been carried out, and the removal of the filler (120, 220) taking place at the same time as heating and/or supplying a solvent.
(FR) L’invention concerne un procédé pour usiner une pièce lors de la fabrication d’un élément optique, en particulier pour la microlithographie, le procédé comportant au moins un processus d’usinage, selon lequel un mouvement relatif s’effectue entre la pièce (110, 210) et un outil, pendant lequel l’outil est guidé par intermittence sur une partie de circulation faisant saillie de la surface à usiner de la pièce, la partie de circulation étant formée <b>par le fait </b> qu’une zone adjacente à la surface à usiner de la pièce est remplie d’une charge (120, 220) à l’état liquide, cette charge (120, 220) étant durcie avant que le processus d’usinage ne soit réalisé sur la pièce (110, 210), la charge (120, 220) étant retirée une fois le processus d’usinage réalisé, et la charge (120, 220) étant retirée par chauffage et/ou par apport d’un solvant.
(DE) Ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks bei der Herstellung eines optischen Elements, insbesondere für die Mikrolithographie, wobei das Verfahren wenigstens einen Bearbeitungsprozess umfasst, bei welchem eine Relativbewegung zwischen dem Werkstück (110, 210) und einem Werkzeug erfolgt, während der das Werkzeug zeitweise über einen über die zu bearbeitende Werkstückoberfläche hinausragenden Überlaufabschnitt geführt wird, wobei der Überlaufabschnitt dadurch gebildet wird, dass ein an die zu bearbeitende Werkstückoberfläche angrenzender Bereich mit einem in flüssigem Zustand befindlichen Füllstoff (120, 220) gefüllt wird, wobei dieser Füllstoff (120, 220) vor Durchführung des Bearbeitungsprozesses an dem Werkstück (110, 210) ausgehärtet wird, wobei der Füllstoff (120, 220) nach Durchführung des Bearbeitungsprozesses entfernt wird, und wobei das Entfernen des Füllstoffs (120, 220) unter Erwärmung und/oder Zufuhr eines Lösungsmittels erfolgt.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)