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1. (WO2019050809) HIGH TEMPERATURE RF CONNECTION WITH INTEGRAL THERMAL CHOKE
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Pub. No.: WO/2019/050809 International Application No.: PCT/US2018/049267
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 31.08.2018
IPC:
H01J 37/32 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32
Gas-filled discharge tubes
Applicants:
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538, US
Inventors:
THOMAS, Timothy, S.; US
BURKHAT, Vince; US
HOLLINGSWORTH, Joel; US
FRENCH, David; US
SLEVIN, Damien; US
Agent:
MARTINE, Peter, B.; US
Priority Data:
15/696,06805.09.2017US
Title (EN) HIGH TEMPERATURE RF CONNECTION WITH INTEGRAL THERMAL CHOKE
(FR) CONNEXION RF À HAUTE TEMPÉRATURE AVEC ÉTRANGLEMENT THERMIQUE INTÉGRÉ
Abstract:
(EN) A thermal choke rod connecting a radio frequency source to a substrate support of a plasma processing system includes a tubular member having a first connector for connecting to an RF rod coupled to the substrate support and a second connector for connecting to an RF strap that couples to the RF source. A tubular segment extends between the first and second connectors. The first connector has a conically-shaped end region that tapers away from the inner surface thereof to an outer surface in a direction toward the tubular segment, and slits that extend for a prescribed distance from a terminal end of the first connector. The outer surface of the tubular segment has a threaded region for threaded engagement with an annular cap that fits over the first connector and reduces an inner diameter of the first connector upon contact with the conically-shaped end region of the first connector.
(FR) L'invention concerne une tige d'étranglement thermique reliant une source radiofréquence à un support de substrat d'un système de traitement au plasma comprenant un élément tubulaire ayant un premier connecteur destiné à être connecté à une tige RF couplée au support de substrat et un second connecteur destiné à être connecté à une bande RF qui se couple à la source RF. Un segment tubulaire s'étend entre les premier et second connecteurs. Le premier connecteur a une région d'extrémité de forme conique qui s'effile à l'opposé de la surface interne de celui-ci vers une surface externe dans une direction vers le segment tubulaire, et des fentes qui s'étendent pour une distance prescrite à partir d'une extrémité de borne du premier connecteur. La surface externe du segment tubulaire a une région filetée pour une mise en prise filetée avec un capuchon annulaire qui s'ajuste sur le premier connecteur et réduit un diamètre interne du premier connecteur au contact de la région d'extrémité de forme conique du premier connecteur.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)