Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2019050663) APPARATUS AND METHOD FOR IMPROVED ION BEAM CURRENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2019/050663 International Application No.: PCT/US2018/046868
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 17.08.2018
IPC:
H01J 37/317 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
30
Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
317
for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. ion implantation
Applicants:
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930, US
Inventors:
CHANG, Shengwu; US
SINCLAIR, Frank; US
LIKHANSKII, Alexandre; US
LAYNE, Philip; US
Agent:
ROY, Ronnen A.; US
Priority Data:
15/699,25508.09.2017US
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR IMPROVED ION BEAM CURRENT
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR COURANT DE FAISCEAU IONIQUE AMÉLIORÉ
Abstract:
(EN) An apparatus may include an electrode system, the electrode system comprising a plurality of electrodes to guide an ion beam from an entrance aperture to an exit aperture, and a voltage supply to apply a plurality of voltages to the electrode system. The electrode system may comprise an exit electrode assembly, where the exit electrode assembly includes a first exit electrode and a second exit electrode, separated from the first exit electrode by an electrode gap. The first exit electrode and the second exit electrode may be movable with respect to one another so as to change a size of the electrode gap over a gap range.
(FR) La présente invention concerne un appareil qui peut comprendre un système d'électrodes, le système d'électrodes comprenant une pluralité d'électrodes permettant de guider un faisceau ionique depuis une ouverture d'entrée vers une ouverture de sortie, et une source de tension permettant d'appliquer une pluralité de tensions au système d'électrodes. Le système d'électrodes peut comprendre un ensemble d'électrodes de sortie, l'ensemble d'électrodes de sortie comprenant une première électrode de sortie et une seconde électrode de sortie, séparées de la première électrode de sortie par un espace d'électrode. La première électrode de sortie et la seconde électrode de sortie peuvent être mobiles l'une par rapport à l'autre de manière à modifier une taille de l'espace d'électrode sur une plage d'espaces.
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)