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1. (WO2019049770) CHEMICAL SOLUTION ACCOMMODATING BODY
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Pub. No.: WO/2019/049770 International Application No.: PCT/JP2018/032173
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 30.08.2018
IPC:
C03C 23/00 (2006.01) ,B65D 23/02 (2006.01) ,C03C 17/245 (2006.01)
C CHEMISTRY; METALLURGY
03
GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
C
CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
23
Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
D
CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
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Details of bottles or jars not otherwise provided for
02
Linings or internal coatings
C CHEMISTRY; METALLURGY
03
GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
C
CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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Surface treatment of glass, e.g. of devitrified glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
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with other inorganic material
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Oxides
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by deposition from the vapour phase
Applicants:
富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西麻布2丁目26番30号 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620, JP
Inventors:
上村 哲也 KAMIMURA Tetsuya; JP
吉留 正洋 YOSHIDOME Masahiro; JP
河田 幸寿 KAWADA Yukihisa; JP
Agent:
渡辺 望稔 WATANABE Mochitoshi; JP
伊東 秀明 ITOH Hideaki; JP
三橋 史生 MITSUHASHI Fumio; JP
Priority Data:
2017-17083206.09.2017JP
2018-15519622.08.2018JP
Title (EN) CHEMICAL SOLUTION ACCOMMODATING BODY
(FR) CORPS CONTENANT UNE SOLUTION CHIMIQUE
(JA) 薬液収容体
Abstract:
(EN) The present invention addresses the problem of providing a chemical solution accommodating body in which, when an accommodated chemical solution is used after storage for a fixed period of time, in a wiring formation step that includes photolithography, shortcircuits as well as defects are less likely to occur in the wiring substrate that is formed. This chemical solution accommodating body comprises a container and a chemical solution that is accommodated in the container. The chemical solution contains at least one type of specific metal component selected from a group consisting of Fe, Al, Cr and Ni. The content amount of the specific metal component in the chemical solution is 100 mass ppt or less per the total mass of the chemical solution. At least a portion of a solution contact part of the container comprises glass containing sodium atoms, and in at least a portion of the solution contact part, a content mass ratio A/B of a content amount A of sodium atoms in a surface region with respect to the total mass of the surface region, to a content amount B of sodium atoms in a bulk region with respect to the total mass of the bulk region, is greater than 0.10 and less than 1.0.
(FR) La présente invention a pour objet un corps contenant une solution chimique avec lequel, lorsqu'une solution chimique contenue est utilisée après stockage pendant une durée donnée, dans une étape de formation de câblage qui comprend une photolithographie, des courts-circuits ainsi que des défauts sont moins susceptibles de se produire dans le substrat de câblage qui est formé. À cet effet l'invention porte sur un corps contenant une solution chimique, comprenant un récipient et une solution chimique qui est contenue dans le récipient. La solution chimique contient au moins un type de constituant métallique particulier choisi dans un groupe constitué par Fe, Al, Cr et Ni. La teneur du constituant métallique particulier dans la solution chimique est inférieure ou égale à 100 ppt en masse par rapport à la masse totale de la solution chimique. Au moins une partie d'une partie du récipient en contact avec la solution comprend du verre contenant des atomes de sodium et dans au moins une partie de la partie en contact avec la solution, un rapport massique de teneurs A/B d'une teneur A d'atomes de sodium dans une zone de surface par rapport à la masse totale de la zone de surface à une teneur B d'atomes de sodium dans une zone massive par rapport à la masse totale de la zone massive est supérieur à 0,10 et inférieur à 1,0.
(JA) 本発明は、一定期間保管後に、収納された薬液をフォトリソグラフィを含む配線形成工程に適用したとき、形成される配線基板においてショートが発生しにくく、かつ、欠陥が発生しにくい薬液収容体の提供を課題とする。本発明の薬液収容体は、容器と、容器に収容された薬液とを有する薬液収容体であって、薬液は、Fe、Al、Cr、及び、Niからなる群から選択される少なくとも1種の特定金属成分を含有し、薬液中における特定金属成分の含有量が、薬液の全質量に対して100質量ppt以下であり、容器の接液部の少なくとも一部が、ナトリウム原子を含有するガラスからなり、接液部の少なくとも一部において、バルク領域における、バルク領域の全質量に対するナトリウム原子の含有量B、に対する、表面領域における、表面領域の全質量に対するナトリウム原子の含有量A、の含有質量比A/Bが、0.10を超え、1.0未満である。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)