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1. (WO2019049683) VACUUM PUMP AND MOTOR CONTROL DEVICE
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Pub. No.: WO/2019/049683 International Application No.: PCT/JP2018/031270
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 24.08.2018
IPC:
H02P 3/18 (2006.01) ,F04D 19/04 (2006.01) ,H02P 29/028 (2016.01)
H ELECTRICITY
02
GENERATION, CONVERSION, OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
P
CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, GENERATORS, OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS OR REACTORS OR CHOKE COILS
3
Arrangements for stopping or slowing electric motors, generators, or dynamo-electric converters
06
for stopping or slowing an individual dynamo-electric motor or dynamo-electric converter
18
for stopping or slowing an ac motor
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04
POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
D
NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19
Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02
Multi-stage pumps
04
specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
[IPC code unknown for H02P 29/028]
Applicants:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
Inventors:
佐藤 光 SATO Kou; JP
Priority Data:
2017-17048905.09.2017JP
Title (EN) VACUUM PUMP AND MOTOR CONTROL DEVICE
(FR) POMPE À VIDE ET DISPOSITIF DE COMMANDE DE MOTEUR
(JA) 真空ポンプ及びモータ制御装置
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a vacuum pump that avoids overvoltage and safely shifts to a regeneration mode, and a motor control device. [Solution] A turbomolecular pump 1 is provided with: a power source unit 4 that converts AC power, acquired from an AC power source, to DC power and that outputs the DC power; and a motor control device 10 that controls a motor 3. The motor control device 10 is provided with: a motor drive circuit 11 that drives the motor 3 by receiving supply of DC power or regenerative power; a reverse current prevention diode 12 disposed between the power source unit 4 and the motor drive circuit 11; a power failure detection circuit 14 that detects a primary-side voltage of the reverse current prevention diode 12; a drive voltage detection circuit 15 that detects a secondary-side voltage of the reverse current prevention diode 12; and a motor control circuit 16 that, when the primary-side voltage descends to a predetermined power failure detection threshold value, determines, on the basis of the voltage difference between the primary-side voltage and the secondary-side voltage, which of a primary-side power failure that is a power failure of the AC power, or a secondary-side power failure that is a power failure of the DC power, has occurred, and controls the motor drive circuit 11 to shift to a regeneration mode.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est d'obtenir une pompe à vide qui évite une surtension et qui passe en toute sécurité en mode régénération, ainsi qu'un dispositif de commande de moteur. La solution selon l'invention porte sur une pompe turbomoléculaire (1) qui comporte : une unité de source d'alimentation (4) qui convertit un courant alternatif, obtenu d'une source d'alimentation en courant alternatif, en un courant continu et qui délivre en sortie le courant continu ; et un dispositif de commande de moteur (10) qui commande un moteur (3). Le dispositif de commande de moteur (10) comprend : un circuit d'entraînement de moteur (11) qui entraîne le moteur (3) en recevant une alimentation en courant continu ou en énergie de régénération ; une diode de prévention de courant inverse (12) disposée entre l'unité de source d'alimentation (4) et le circuit d'entraînement de moteur (11) ; un circuit de détection de panne d'alimentation (14) qui détecte une tension côté primaire de la diode de prévention de courant inverse (12) ; un circuit de détection de tension d'attaque (15) qui détecte une tension côté secondaire de la diode de prévention de courant inverse (12) ; et un circuit de commande de moteur (16) qui, lorsque la tension côté primaire descend jusqu'à une valeur seuil de détection de panne d'alimentation prédéfinie, détermine, sur la base de la différence de tension entre la tension côté primaire et la tension côté secondaire, si c'est une panne d'alimentation côté primaire, qui constitue une panne d'alimentation en courant alternatif, ou une panne d'alimentation côté secondaire, qui constitue une panne d'alimentation en courant continu, qui s'est produite, et qui amène le circuit d'entraînement de moteur (11) à passer en mode régénération.
(JA) 【課題】オーバーボルテージを回避して安全に回生モードに移行する真空ポンプ及びモータ制御装置を提供する。 【解決手段】ターボ分子ポンプ1は、交流電源から得られる交流電力を直流電力に変換して出力する電源ユニット4と、モータ3を制御するモータ制御装置10と、を備えている。モータ制御装置10は、直流電力又は回生電力が供給されてモータ3を駆動させるモータ駆動回路11と、電源ユニット4とモータ駆動回路11との間に設けられた逆流防止ダイオード12と、逆流防止ダイオード12の一次側電圧を検出する停電検出回路14と、逆流防止ダイオード12の二次側電圧を検出する駆動電圧検出回路15と、一次側電圧が所定の停電検出閾値まで降下すると、一次側電圧及び二次側電圧の電圧差に基づいて、交流電力の停電である一次側停電又は直流電力の停電である二次側停電の何れであるかを判定し、回生モードに移行するようにモータ駆動回路11を制御するモータ制御回路16と、を備えている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)