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Pub. No.: WO/2019/049250 International Application No.: PCT/JP2017/032204
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 07.09.2017
G01N 21/27 (2006.01) ,G01N 21/3581 (2014.01)
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
using photo-electric detection
[IPC code unknown for G01N 21/3581]
高井 茉佑子 TAKAI Mayuko [JP/JP]; JP
山口 啓太 YAMAGUCHI Keita [JP/JP]; JP
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
高井 茉佑子 TAKAI Mayuko; JP
山口 啓太 YAMAGUCHI Keita; JP
戸田 裕二 TODA Yuji; JP
Priority Data:
(JA) 分光測定装置
(EN) The objective of the present invention is to reduce or eliminate the influence on spectrometry of scattering by particles composing an object of measurement. This objective is achieved by a spectrometry device comprising an electromagnetic wave irradiation unit for irradiating electromagnetic waves, a light reception unit for receiving electromagnetic waves, a probe light irradiation unit for irradiating probe light, a probe light detection unit for detecting probe light and outputting a detection signal, a calculation unit for calculating the detected intensity of the electromagnetic waves from the detection signal, and a beam diameter control unit for controlling the beam diameter of the probe light, said spectrometry device being characterized in that the electromagnetic wave irradiation unit irradiates electromagnetic waves onto an object of measurement, the light reception unit receives the electromagnetic waves irradiated onto the object of measurement, the probe light irradiation unit irradiates the probe light onto the light reception unit, the probe light detection unit detects the probe light irradiated onto the light reception unit and outputs a detection signal, the calculation unit calculates the detected intensity on the basis of the detection signal and the beam diameter of the probe light, and the beam diameter control unit controls the beam diameter of the probe light on the basis of the calculated detected intensity.
(FR) L'objectif de la présente invention est de réduire ou d'éliminer l'influence, sur la spectrométrie, de la diffusion par des particules composant un objet de mesure. Cet objectif est atteint par un dispositif de spectrométrie comprenant une unité d'irradiation d'ondes électromagnétiques pour irradier des ondes électromagnétiques, une unité de réception de lumière pour recevoir des ondes électromagnétiques, une unité d'irradiation de lumière de sonde pour irradier une lumière de sonde, une unité de détection de lumière de sonde pour détecter une lumière de sonde et délivrer en sortie un signal de détection, une unité de calcul pour calculer l'intensité détectée des ondes électromagnétiques à partir du signal de détection, et une unité de commande de diamètre de faisceau pour commander le diamètre de faisceau de la lumière de sonde, ledit dispositif de spectrométrie étant caractérisé en ce que l'unité d'irradiation d'ondes électromagnétiques irradie des ondes électromagnétiques sur un objet de mesure, l'unité de réception de lumière reçoit les ondes électromagnétiques irradiées sur l'objet de mesure, l'unité d'irradiation de lumière de sonde irradie la lumière de sonde sur l'unité de réception de lumière, l'unité de détection de lumière de sonde détecte la lumière de sonde irradiée sur l'unité de réception de lumière et délivre en sortie un signal de détection, l'unité de calcul calcule l'intensité détectée, sur la base du signal de détection et du diamètre de faisceau de la lumière de sonde, et l'unité de commande de diamètre de faisceau commande le diamètre de faisceau de la lumière de sonde sur la base de l'intensité détectée calculée.
(JA) 分光測定における、測定対象物を構成する粒子による散乱の影響を低減または除去する技術を提供することを目的とする。 電磁波を照射する電磁波照射部と、電磁波を受光する受光部と、プローブ光を照射するプローブ光照射部と、前記プローブ光を検出し検出信号を出力するプローブ光検出部と、前記検出信号から電磁波の検出強度を算出する演算部と、前記プローブ光のビーム径を調整するビーム径制御部と、を備え、前記電磁波照射部は前記電磁波を測定対象物に照射し、前記受光部は前記測定対象物に照射された前記電磁波を受光し、前記プローブ光照射部は前記プローブ光を前記受光部に照射し、前記プローブ光検出部は前記受光部に照射された前記プローブ光を検出し、検出信号を出力し、前記演算部は前記検出信号と前記プローブ光のビーム径に基づき、前記検出強度を算出しし、算出された前記検出強度に基づき、前記ビーム径調整部はプローブ光のビーム径を制御することを特徴とする分光測定装置によって解決する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)