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1. (WO2019048470) METHOD AND ASSEMBLY FOR DETERMINING AN ELECTRICAL POTENTIAL AND FOR DETERMINING A DISTRIBUTION DENSITY FUNCTION OF A CURRENT OF A BEAM OF PARTICLES
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Pub. No.: WO/2019/048470 International Application No.: PCT/EP2018/073854
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 05.09.2018
IPC:
G01R 29/12 (2006.01) ,G01T 1/29 (2006.01) ,G01R 19/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
29
Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/-G01R27/135
12
Measuring electrostatic fields
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
T
MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
1
Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
29
Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
19
Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
Applicants:
SCIA SYSTEMS GMBH [DE/DE]; Annaberger Straße 240 09125 Chemnitz, DE
Inventors:
DUNGER, Thoralf; DE
ZEUNER, Michael; DE
NESTLER, Matthias; DE
Agent:
VIERING, JENTSCHURA & PARTNER MBB; Am Brauhaus 8 01099 Dresden, DE
Priority Data:
10 2017 120 408.305.09.2017DE
Title (EN) METHOD AND ASSEMBLY FOR DETERMINING AN ELECTRICAL POTENTIAL AND FOR DETERMINING A DISTRIBUTION DENSITY FUNCTION OF A CURRENT OF A BEAM OF PARTICLES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE DÉTERMINATION D’UN POTENTIEL ÉLECTRIQUE ET DE DÉTERMINATION D’UNE FONCTION DE DENSITÉ DE DISTRIBUTION D’UN COURANT À PARTIR D’UN FAISCEAU DE PARTICULES
(DE) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUM ERMITTELN EINES ELEKTRISCHEN POTENTIALS UND ZUM ERMITTELN EINER VERTEILUNGSDICHTEFUNKTION EINES STROMES VON EINEM STRAHL VON TEILCHEN
Abstract:
(EN) The invention relates to a method and to an assembly for determining an electrical potential, which results at least partly from at least one beam of particles, and for determining a distribution density function of a current of the at least one beam of particles by means of a planar probe, which has a circuit. The method comprises: detecting a current of at least one beam of particles by means of the planar probe with a first setting of the circuit, which has one or more measurement edges, the probe and the at least one beam moving relative to each other such that a changing part of the at least one beam overlaps with the probe and is detected as an electric current in dependence on the relative position between the probe and the at least one beam such that a distribution function of the current is determined. Furthermore, the method comprises the determining of the distribution density function of the current of the at least one beam by means of mathematical differentiation of the determined distribution function of the current. The method also comprises the determining of an electrical potential of the planar probe with a second setting of the circuit of the planar probe, the beam at least partly overlapping with the probe for a duration.
(FR) La présente invention concerne un procédé et un dispositif de détermination d’un potentiel électrique résultant au moins en partie d’au moins un faisceau de particules et de détermination d’une fonction de densité de distribution d’un courant provenant d’au moins un faisceau de particules au moyen d’une sonde sensiblement bidimensionnelle. Le procédé comprend les étapes suivantes : détecter un courant d’au moins un faisceau de particules au moyen de la sonde sensiblement bidimensionnelle avec un premier réglage du circuit comportant un ou plusieurs bords de mesure. La sonde et l’au moins un faisceau se déplacent l’un par rapport à l’autre de telle sorte qu’une partie variable de l’au moins un faisceau recouvre la sonde et est détectée sous la forme d’un courant électrique en fonction de la position relative entre la sonde et l’au moins un faisceau de sorte qu’une fonction de distribution de courant est déterminée. En outre, le procédé comprend la détermination de la fonction de densité de distribution du courant de l’au moins un faisceau au moyen d’une différenciation mathématique de la fonction de distribution déterminée du courant. Le procédé comprend en outre la détermination d’un potentiel électrique de la sonde sensiblement bidimensionnelle avec un deuxième réglage du circuit de la sonde sensiblement bidimensionnelle. Le faisceau recouvre au moins partiellement la sonde pendant un certain temps.
(DE) Diese Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Ermitteln eines elektrischen Potentials, welches zumindest teilweise aus mindestens einem Strahl von Teilchen resultiert, und zum Ermitteln einer Verteilungsdichtefunktion eines Stromes von dem mindestens einen Strahl von Teilchen mittels einer flächigen Sonde, welche eine Schaltung aufweist, bereitgestellt. Das Verfahren weist auf: Detektieren eines Stromes von mindestens einem Strahl von Teilchen mittels der flächigen Sonde mit einer ersten Einstellung der Schaltung, welche eine oder mehrere Messkanten aufweist, wobei sich die Sonde und der mindestens eine Strahl relativ zueinander bewegen, so dass ein sich ändernder Teil des mindestens einen Strahls die Sonde überdeckt und als elektrischer Strom in Abhängigkeit der Relativposition zwischen der Sonde und dem mindestens einen Strahl detektiert wird, so dass eine Verteilungsfunktion des Stroms ermittelt wird. Ferner weist das Verfahren das Ermitteln der Verteilungsdichtefunktion des Stromes des mindestens einen Strahls mittels mathematischen Differenzierens der ermittelten Verteilungsfunktion des Stroms auf. Das Verfahren weist ferner das Ermitteln eines elektrischen Potentials der flächigen Sonde mit einer zweiten Einstellung der Schaltung der flächigen Sonde auf, wobei der Strahl für eine Zeitdauer zumindest teilweise die Sonde überdeckt.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)