Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persist, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO2019048293) METHODS OF INSPECTING SAMPLES WITH MULTIPLE BEAMS OF CHARGED PARTICLES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau    Submit observation

Pub. No.: WO/2019/048293 International Application No.: PCT/EP2018/073161
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 28.08.2018
IPC:
H01J 37/28 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
28
with scanning beams
Applicants:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors:
TSENG, Kuo-Feng; US
DONG, Zhonghua; US
WANG, Yixiang; US
CHEN, Zhongwei; US
Agent:
PETERS, John; NL
Priority Data:
62/555,54207.09.2017US
Title (EN) METHODS OF INSPECTING SAMPLES WITH MULTIPLE BEAMS OF CHARGED PARTICLES
(FR) PROCÉDÉS D'INSPECTION D'ÉCHANTILLONS AVEC DE MULTIPLES FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
Abstract:
(EN) Disclosed herein is an apparatus comprising: a source configured to emit charged particles, an optical system and a stage; wherein the stage is configured to support a sample thereon and configured to move the sample by a first distance in a first direction; wherein the optical system is configured to form probe spots on the sample with the charged particles; wherein the optical system is configured to move the probe spots by the first distance in the first direction and by a second distance in a second direction, simultaneously, while the stage moves the sample by the first distance in the first direction; wherein the optical system is configured to move the probe spots by the first distance less a width of one of the probe spots in an opposite direction of the first direction, after the stage moves the sample by the first distance in the first direction.
(FR) L'invention concerne un appareil comprenant : une source configurée pour émettre des particules chargées, un système optique et un étage ; l'étage étant configuré pour supporter un échantillon et configuré pour déplacer l'échantillon d'une première distance dans une première direction ; le système optique étant configuré pour former des points de sonde sur l'échantillon avec les particules chargées ; le système optique étant configuré pour déplacer les points de sonde de la première distance dans la première direction et d'une seconde distance dans une seconde direction, simultanément, tandis que l'étage déplace l'échantillon de la première distance dans la première direction ; le système optique étant configuré pour déplacer les points de sonde de la première distance inférieure à une largeur d'un des points de sonde dans une direction opposée à la première direction, après que l'étage déplace l'échantillon de la première distance dans la première direction.
front page image
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)