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1. (WO2019048171) THREE-AXIS MICROMECHANICAL ROTATION RATE SENSOR ARRANGEMENT HAVING SENSOR DEVICES WHICH CAN BE DRIVEN IN A LINEAR AND ROTATORY MANNER
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Pub. No.: WO/2019/048171 International Application No.: PCT/EP2018/071565
Publication Date: 14.03.2019 International Filing Date: 08.08.2018
IPC:
G01C 19/5712 (2012.01) ,G01C 19/5747 (2012.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
C
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19
Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56
Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5705
using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
5712
the devices involving a micro-mechanical structure
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
C
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19
Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56
Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719
using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733
Structural details or topology
574
the devices having two sensing masses in anti-phase motion
5747
each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
NEUL, Reinhard; DE
LASSL, Andreas; DE
KUHLMANN, Burkhard; DE
DEGENFELD-SCHONBURG, Peter; DE
PRUETZ, Odd-Axel; DE
KUHLMANN, Nils Felix; DE
LIEWALD, Jan-Timo; DE
BODE, Niels; DE
KUEHNEL, Matthias; DE
Priority Data:
10 2017 215 503.505.09.2017DE
Title (EN) THREE-AXIS MICROMECHANICAL ROTATION RATE SENSOR ARRANGEMENT HAVING SENSOR DEVICES WHICH CAN BE DRIVEN IN A LINEAR AND ROTATORY MANNER
(FR) AGENCEMENT DE CAPTEURS DE VITESSE DE ROTATION MICROMÉCANIQUE À TROIS AXES COMPRENANT DES DISPOSITIFS CAPTEURS POUVANT ÊTRE ENTRAÎNÉS LINÉAIREMENT ET EN ROTATION
(DE) DREIACHSIGE MIKROMECHANISCHE DREHRATEN-SENSORANORDNUNG MIT LINEAR UND ROTATORISCH ANTREIBBAREN SENSOREINRICHTUNGEN
Abstract:
(EN) The invention relates to a micromechanical rotation rate sensor arrangement and a corresponding production method. The micromechanical rotation rate sensor arrangement according to the invention comprises a first rotation rate sensor device (100), which is rotatably drivable in an oscillating manner about a first axis (z), in order to detect a first outer rotation rate about a second axis (y) and a second outer rotation rate about a third axis (x), wherein the first, second and third axis (z, y, x) are arranged perpendicular to each other, and a second rotation rate sensor device (200; 201; 202), which is drivable in a linear oscillating manner along the second axis (y) by a drive device (AT; AT'; AT"), in order to detect a third outer rotation rate about the first axis (z). The second rotation rate sensor device (200; 201; 202) is connected to the first rotation sensor device (100) in order to drive the first rotation rate sensor device (100) by means of the drive device (200; 201; 202) via a first coupling device (S1, F5; S2, F6; SA, SB, F12).
(FR) L’invention concerne un agencement de capteurs de vitesse de rotation micromécanique et un procédé de fabrication correspondant. L’agencement de capteurs de vitesse de rotation micromécanique comprend un premier dispositif capteur de vitesse de rotation (100) pouvant être entraîné en rotation de façon oscillante autour d’un premier axe (z) pour la saisie d’une première vitesse de rotation externe autour d’un deuxième axe (y) et d’une deuxième vitesse de rotation externe autour d’un troisième axe (x), les premier, deuxième et troisième axes (z, y, x) étant disposés perpendiculairement les uns par rapport aux autres, et un deuxième dispositif capteur de vitesse de rotation (200 ; 201 ; 202) pouvant être entraîné linéairement de façon oscillante le long du deuxième axe (y) par un dispositif d’entraînement (AT ; AT' ; AT") pour la saisie d’une troisième vitesse de rotation autour du premier axe (z). Le deuxième dispositif capteur de vitesse de rotation (200 ; 201 ; 202) est relié au premier dispositif capteur de vitesse de rotation (100) au moyen d’un premier dispositif de couplage (S1, F5 ; S2, F6 ; SA, SB, F12), pour l’entraînement du premier dispositif capteur de vitesse de rotation (100) par le dispositif d’entraînement (200 ; 201 ; 202).
(DE) Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung umfasst eine rotatorisch um eine erste Achse (z) oszillierend antreibbare erste Drehratensensoreinrichtung (100) zum Erfassen einer ersten äußeren Drehrate um eine zweite Achse (y) und einer zweiten äußeren Drehrate um eine dritte Achse (x), wobei die erste, zweite und dritte Achse (z, y, x) senkrecht zueinander angeordnet sind, und eine linear oszillierend entlang der zweiten Achse (y) durch eine Antriebseinrichtung (AT; AT'; AT") antreibbare zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) zum Erfassen einer dritten äußeren Drehrate um die erste Achse (z). Die zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) ist mit der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) zum Antreiben der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) durch die Antriebseinrichtung (200; 201; 202) über eine erste Kopplungseinrichtung (S1, F5; S2, F6; SA, SB, F12) verbunden.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)