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1. (WO2019046135) SPATIAL LIGHT MODULATORS FOR PHASED-ARRAY APPLICATIONS
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Pub. No.: WO/2019/046135 International Application No.: PCT/US2018/048032
Publication Date: 07.03.2019 International Filing Date: 25.08.2018
IPC:
G02B 26/08 (2006.01) ,G02B 26/00 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08
for controlling the direction of light
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
Applicants:
SILICON LIGHT MACHINES CORPORATION [US/US]; 820 Kifer Road Sunnyvale, California 94086, US
Inventors:
PAYNE, Alexander; US
HUNTER, James; US
ENG, Lars; US
Agent:
NUTTLE, William; US
Priority Data:
16/008,77214.06.2018US
62/551,70329.08.2017US
Title (EN) SPATIAL LIGHT MODULATORS FOR PHASED-ARRAY APPLICATIONS
(FR) MODULATEURS SPATIAUX DE LUMIÈRE POUR DES APPLICATIONS À COMMANDE DE PHASE
Abstract:
(EN) A capacitive micro-electromechanical system (MEMS) structure or device and methods of making and operating the same are described. Generally, the MEMS device provides a large stroke while maintaining good damping, enabling fast beam steering and large scan angles. In one embodiment, the capacitive MEMS device includes a bottom electrode formed over a substrate; an electrically permeable damping structure formed over the bottom electrode, the electrically permeable damping structure including a first air-gap and a dielectric layer suspended above and separated from the bottom electrode by the first air-gap; and a plurality of movable members suspended above the damping structure and separated therefrom by a second air-gap, each of the plurality of movable members including a top electrode and being configured to deflect towards the bottom electrode by electrostatic force. Other embodiments are also described.
(FR) L'invention concerne une structure ou un dispositif à système microélectromécanique (MEMS) capacitive et des procédés de fabrication et d'utilisation de celle-ci ou de celui-ci. De manière générale, le dispositif MEMS fournit une grande course tout en maintenant un bon amortissement, ce qui permet une orientation rapide de faisceau et de grands angles de balayage. Selon un mode de réalisation, le dispositif MEMS capacitif comprend une électrode inférieure formée sur un substrat ; une structure d'amortissement électriquement perméable formée sur l'électrode inférieure, la structure d'amortissement électriquement perméable comprenant un premier entrefer et une couche diélectrique suspendue au-dessus et séparée de l'électrode inférieure par le premier entrefer ; et une pluralité d'éléments mobiles suspendus au-dessus de la structure d'amortissement et séparés de celle-ci par un second entrefer, chacun de la pluralité d'éléments mobiles comprenant une électrode supérieure et étant configuré pour être dévier vers l'électrode inférieure par une force électrostatique. L'invention décrit également d'autres modes de réalisation.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)