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1. (WO2019046093) SYSTEMS AND METHODS FOR ACHIEVING PEAK ION ENERGY ENHANCEMENT WITH A LOW ANGULAR SPREAD
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Pub. No.: WO/2019/046093 International Application No.: PCT/US2018/047710
Publication Date: 07.03.2019 International Filing Date: 23.08.2018
IPC:
H01J 37/32 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32
Gas-filled discharge tubes
Applicants:
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538, US
Inventors:
SHOEB, Juline; US
WU, Ying; US
PATERSON, Alex; US
Agent:
PATEL, Nishitkumar, V.; US
PENILLA, Albert, S.; US
Priority Data:
15/693,13431.08.2017US
Title (EN) SYSTEMS AND METHODS FOR ACHIEVING PEAK ION ENERGY ENHANCEMENT WITH A LOW ANGULAR SPREAD
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS PERMETTANT D'OBTENIR UNE AMÉLIORATION D'ÉNERGIE IONIQUE DE CRÊTE AVEC UN FAIBLE ÉTALEMENT ANGULAIRE
Abstract:
(EN) Systems and methods for increasing peak ion energy with a low angular spread of ions are described. In one of the systems, multiple radio frequency (RF) generators that are coupled to an upper electrode associated with a plasma chamber are operated in two different states, such as two different frequency levels, for pulsing of the RF generators. The pulsing of the RF generators facilitates a transfer of ion energy during one of the states to another one of the states for increasing ion energy during the other state to further increase a rate of processing a substrate.
(FR) Cette invention concerne des systèmes et des procédés pour accroître l'énergie ionique de crête avec un faible étalement angulaire des ions. Dans l'un des systèmes, de multiples générateurs de radiofréquences (RF) qui sont couplés à une électrode supérieure associée à une chambre à plasma sont activés dans deux états différents, tels que deux niveaux de fréquence différents, pour transmettre des impulsions aux générateurs RF. La transmission d'impulsions aux générateurs RF facilite un transfert d'énergie ionique sous l'un des états à un autre des états pour accroître l'énergie ionique sous l'autre état afin d'accroître davantage une vitesse de traitement d'un substrat.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)