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1. (WO2019045021) MEMS CONTROLLER AND MEMS CONTROL METHOD
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Pub. No.: WO/2019/045021 International Application No.: PCT/JP2018/032268
Publication Date: 07.03.2019 International Filing Date: 30.08.2018
IPC:
B81B 7/00 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
7
Micro-structural systems
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
3
Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08
for controlling the direction of light
Applicants:
アダマンド並木精密宝石株式会社 ADAMANT NAMIKI PRECISION JEWEL CO., LTD. [JP/JP]; 東京都足立区新田3丁目8番22号 8-22, Shinden 3-chome, Adachi-ku, Tokyo 1238511, JP
Inventors:
神原 大輔 KANBARA Daisuke; JP
佐藤 正和 SATO Masakazu; JP
石川 正紀 ISHIKAWA Masanori; JP
山内 研也 YAMAUCHI Kenya; JP
Priority Data:
2017-16640531.08.2017JP
Title (EN) MEMS CONTROLLER AND MEMS CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE DE MEMS ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE MEMS
(JA) MEMS制御装置及びMEMS制御方法
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a MEMS controller and a MEMS control method with which, in a MEMS provided with oscillating parts, which can oscillate around two axes, resonance of the oscillating parts is suppressed or prevented, unnecessary oscillation around one of the axes is suppressed or prevented, and rapid convergence is possible if resonance or unnecessary oscillating occurs. [Solution] Provided is a MEMS controller that supplies, to a MEMS comprising at least two support parts and two oscillating parts supported by the support parts, voltages for controlling oscillating angles generated by the oscillating parts, which have the two support parts as center axes; while each voltage transitions from an initial voltage V0 (V) to a set voltage V1 (V), which maintains the oscillating angle of an oscillating part at a set angle, the MEMS controller supplies a voltage V2 (V), which is a voltage value excluding both the initial voltage V0 (V) and the set voltage V1 (V). Further provided is a MEMS control method.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif de commande de MEMS et un procédé de commande de MEMS avec lesquels, dans un MEMS pourvu de parties oscillantes, pouvant osciller autour de deux axes, la résonance des parties oscillantes est supprimée ou empêchée, une oscillation inutile autour d'un des axes est supprimée ou empêchée, et une convergence rapide est possible si une résonance ou une oscillation inutile se produit. La solution selon la présente invention porte sur un dispositif de commande de MEMS qui fournit, à un MEMS comprenant au moins deux parties de support et deux parties oscillantes supportées par les parties de support, des tensions pour commander des angles d'oscillation générés par les parties oscillantes, qui ont les deux parties de support comme axes centraux ; tandis que chaque tension passe d'une tension initiale V0 (V) à une tension de consigne V1 (V), qui maintient l'angle d'oscillation d'une partie oscillante à un angle déterminé, le dispositif de commande de MEMS fournit une tension V2 (V), qui est une valeur de tension excluant à la fois la tension initiale V0 (V) et la tension de consigne V1 (V). La présente invention concerne en outre un procédé de commande de MEMS.
(JA) 【課題】2軸周りに揺動が可能な揺動部を備えるMEMSに於ける、揺動部の共振の抑制又は防止、一方の軸周りの不必要な揺動の抑制又は防止、共振又は不必要な揺動が発生した場合の速やかな収束が可能なMEMS制御装置とMEMS制御方法の提供を目的とする。 【解決手段】少なくとも、2つの支持部と、支持部に支持された2つの揺動部を有するMEMSに、2つの支持部をそれぞれ中心軸として揺動部に発生する各々の揺動角度を制御する為の各電圧を供給し、各電圧が、初期電圧V0(V)から、揺動部の揺動角度を所望の設定値角度に制御する設定電圧V1(V)に遷移する途中で、V0(V)及びV1(V)のどちらも除く電圧値である電圧V2(V)を供給するMEMS制御装置、MEMS制御方法とする。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)