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1. (WO2019044674) VACUUM PUMP AND CONTROL DEVICE
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Pub. No.: WO/2019/044674 International Application No.: PCT/JP2018/031269
Publication Date: 07.03.2019 International Filing Date: 24.08.2018
IPC:
F04D 19/04 (2006.01) ,F16C 32/04 (2006.01)
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04
POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
D
NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19
Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02
Multi-stage pumps
04
specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16
ENGINEERING ELEMENTS OR UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
C
SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; MECHANICAL MEANS FOR TRANSMITTING MOVEMENT IN A FLEXIBLE SHEATHING; ELEMENTS OF CRANKSHAFT MECHANISMS; PIVOTS; PIVOTAL CONNECTIONS; ROTARY ENGINEERING ELEMENTS OTHER THAN GEARING, COUPLING, CLUTCH OR BRAKE ELEMENTS; BEARINGS
32
Bearings not otherwise provided for
04
using magnetic or electric supporting means
Applicants:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
Inventors:
江澤 由雅 EZAWA Yoshimasa; JP
深美 英夫 FUKAMI Hideo; JP
佐藤 光 SATO Kou; JP
Priority Data:
2017-16789631.08.2017JP
Title (EN) VACUUM PUMP AND CONTROL DEVICE
(FR) POMPE À VIDE ET DISPOSITIF DE COMMANDE
(JA) 真空ポンプ及び制御装置
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a vacuum pump and a control device with which highly precise and stable control can be performed during steady operation, and in which the vacuum pump withstands disturbance, the pump stop time is brief, and the pump can be reduced in size. [Solution] Positional deviation calculated by a subtracter 1 is inputted to PIDs 22, 32, 42, which are in three modes. The PID 22 is a PID regulator for a high-bias mode, the PID 32 is a PID regulator for a high-rigidity mode, and the PID 42 is a PID regulator for a low-rigidity mode. An output signal of the PID 42 is extracted as the amount of change of an indicator current with each clock of a PWM frequency, and is designed such that an average value ΔC of the amount of change of the indicator current among several clocks is acquired in a calculation unit 41. A switching control unit 45 computes whether or not the magnitude of the average value ΔC of the amount of change of the indicator current averaged in this case is greater than a prescribed value set in advance, and in accordance with the result of computation, an α value is outputted from the switching control unit 45 in a range of 0-1.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de fournir une pompe à vide et un dispositif de commande avec lesquels une commande très précise et stable peut être effectuée pendant un fonctionnement stable, et dans lesquels la pompe à vide résiste aux perturbations, le temps d'arrêt de pompe est court et la pompe peut être de taille réduite. À cet effet, l'écart de position calculé par un soustracteur 1 est entré dans les PID 22,32,42, qui sont dans trois modes. Le PID 22 est un régulateur PID pour un mode de forte polarisation, le PID 32 est un régulateur PID pour un mode de haute rigidité, et le PID 42 est un régulateur PID pour un mode de faible rigidité. Un signal de sortie du PID 42 est extrait en tant que quantité de changement d'un courant indicateur avec chaque horloge d'une fréquence PWM, et est conçu de telle sorte qu'une valeur moyenne ΔC de la quantité de changement du courant indicateur parmi plusieurs horloges est acquise dans une unité de calcul 41. Une unité de commande de commutation 45 calcule si oui ou non l'amplitude de la valeur moyenne ΔC de la quantité de changement du courant indicateur dont la moyenne a été calculée dans ce cas est supérieure à une valeur prescrite prédéfinie, et en fonction du résultat du calcul, une valeur α est délivrée par l'unité de commande de commutation 45 dans une plage de 0-1.
(JA) 【課題】定常運転時には高精度な安定した制御が行えると共に、外乱に強く、かつ、ポンプの停止時間が短く、小型化の図られた真空ポンプ及び制御装置を提供する。 【解決手段】減算器1で算出された位置偏差は3つのモードのPID22、32、42にそれぞれ入力されるようになっている。PID22は高バイアスモード用のPID調節器であり、PID32は高剛性モード用のPID調節器であり、PID42は低剛性モード用のPID調節器である。PID42の出力信号はPWM周波数のクロック毎に指示電流の変化分として抽出がされ、算出部41において数クロックの間の指示電流の変化分の平均値ΔCがとられるようになっている。ここで平均化された指示電流の変化分の平均値ΔCの大きさが予め設定された所定値よりも大きいか否かが切替制御部45で演算され、その結果に応じてα値が0から1の範囲で切替制御部45から出力されるようになっている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)