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1. (WO2019043759) MULTIPOLE LENS, ABERRATION CORRECTOR USING SAME, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
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Pub. No.: WO/2019/043759 International Application No.: PCT/JP2017/030744
Publication Date: 07.03.2019 International Filing Date: 28.08.2017
IPC:
H01J 37/153 (2006.01) ,H01J 37/141 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
153
Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
10
Lenses
14
magnetic
141
Electromagnetic lenses
Applicants:
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors:
中野 朝則 NAKANO Tomonori; JP
Agent:
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
Priority Data:
Title (EN) MULTIPOLE LENS, ABERRATION CORRECTOR USING SAME, AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) LENTILLE MULTIPOLAIRE, CORRECTEUR D'ABERRATION L'UTILISANT, ET DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 多極子レンズ及びそれを用いた収差補正器、荷電粒子線装置
Abstract:
(EN) The present invention allows lowering the stability requirement for the power source necessary to operate a winding-type aberration corrector. This allows using more reasonably priced power source, thereby reducing equipment cost. A multipole lens constituting an aberration corrector has a plurality of pairs of current lines 101 – 112 arranged in axial symmetry in the same plane with respect to an optical axis 100. The current lines have a principal line 103 arranged parallel to the optical axis and a return line 116 arranged facing the principal line. The direction of a current flowing through the return line is opposite the direction of a current flowing through the principal line in the component parallel to the optical axis. A distance R2 between the optical axis and the return line is set to a value greater than a distance R1 between the optical axis and the principal line so that noise due to the stability of a power source supplying current to the current lines is less than or equal to a prescribed level in an excited multipole field.
(FR) La présente invention permet d'abaisser l'exigence de stabilité pour la source d'alimentation nécessaire pour faire fonctionner un correcteur d'aberration de type à enroulement. Ceci permet d'utiliser une source d'alimentation à prix plus raisonnable, ce qui permet de réduire le coût de l'équipement. Une lentille multipolaire constituant un correcteur d'aberration comporte une pluralité de paires de lignes de courant 101- 112 agencées en symétrie axiale dans le même plan par rapport à un axe optique 100. Les lignes de courant ont une ligne principale 103 disposée parallèlement à l'axe optique et une ligne de retour 116 disposée en regard de la ligne principale. La direction d'un courant circulant à travers la ligne de retour est opposée à la direction d'un courant circulant à travers la ligne principale dans le composant parallèle à l'axe optique. Une distance R2 entre l'axe optique et la ligne de retour est réglée à une valeur supérieure à une distance R1 entre l'axe optique et la ligne principale de sorte que le bruit dû à la stabilité d'une source d'alimentation fournissant un courant aux lignes de courant est inférieur ou égal à un niveau prescrit dans un champ multipolaire excité.
(JA) 巻線型の収差補正器において、収差補正器の動作に必要な電源の安定度が下げられる。これにより従来よりも安価な電源が使用可能となり装置コストが低減できる。収差補正器を構成する多極子レンズは、光軸100に対して同一平面上に軸対称に配置される1対の電流線101~112を複数有し、電流線は、光軸に対して平行に配置される主線部103と、主線部に対向して配置される戻り線部116とを有し、戻り線部に流れる電流の向きは、光軸に平行な成分では主線部に流れる電流の向きと逆方向であり、光軸と戻り線部との距離R2は、光軸と主線部との距離R1よりも大きく設定され、励起する多極子場において電流線に電流を供給する電源の電源安定性起因ノイズが所定レベル以下となるように設定される。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)