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1. (WO2019042905) ELECTRON BEAM INSPECTION TOOL
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Pub. No.: WO/2019/042905 International Application No.: PCT/EP2018/072939
Publication Date: 07.03.2019 International Filing Date: 25.08.2018
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
20
Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Applicants:
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors:
VAN BANNING, Dennis, Herman, Caspar; NL
GOSEN, Jeroen, Gerard; NL
KADIJK, Edwin, Cornelis; NL
TER HEERDT, Maarten, Lambertus, Henricus; NL
Agent:
PETERS, John; NL
Priority Data:
17188682.331.08.2017EP
17206118.608.12.2017EP
Title (EN) ELECTRON BEAM INSPECTION TOOL
(FR) OUTIL D'INSPECTION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
Abstract:
(EN) An e-beam inspection tool is disclosed, the tool comprising: an electron optics system configured to generate an electron beam; an object table configured to hold a specimen; a positioning device configured to position the object table, the positioning device comprising an actuator, wherein the positioning device further comprises a heating device configured to generate a heat load and a heat load controller to control the generated heat load at least partly based on an actuator heat load generated in the actuator.
(FR) L'invention concerne un outil d'inspection de faisceau d'électrons, l'outil comprenant : un système d'optique électronique conçu pour générer un faisceau d'électrons ; une table d'objet conçue pour contenir un échantillon ; un dispositif de positionnement conçu pour positionner la table d'objet, le dispositif de positionnement comprenant un actionneur, le dispositif de positionnement comprenant en outre un dispositif de chauffage conçu pour générer une charge de chaleur et un dispositif de commande de charge de chaleur pour commander la charge de chaleur générée au moins partiellement sur la base d'une charge de chaleur d'actionneur générée dans l'actionneur.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)