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1. (WO2019042339) F-THETA LENS SUITABLE FOR USE IN LASER PROCESSING
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Pub. No.: WO/2019/042339 International Application No.: PCT/CN2018/103136
Publication Date: 07.03.2019 International Filing Date: 30.08.2018
IPC:
G02B 13/00 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
13
Optical objectives specially designed for the purposes specified below
Applicants:
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventors:
孙建超 SUN, Jianchao; CN
Agent:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 黄浦区复兴中路1号申能国际大厦606-607室 Units 606-607, Shenergy International Building 1 Middle Fuxing Road, Huangpu District Shanghai 200021, CN
Priority Data:
201710763481.530.08.2017CN
Title (EN) F-THETA LENS SUITABLE FOR USE IN LASER PROCESSING
(FR) LENTILLE F-THÊTA APPROPRIÉE POUR ÊTRE UTILISÉE DANS UN TRAITEMENT AU LASER
(ZH) 一种适于在激光加工工艺中使用的F-theta镜头
Abstract:
(EN) Disclosed is an F-theta lens suitable for use in laser processing. The F-theta lens comprises a first lens (1) with a positive optical power, a second lens (2) with a negative optical power, a third lens (3) with a positive optical power, a fourth lens (4) with a positive optical power, and a fifth lens (5) with a positive optical power. By means of optimizing the lens surface curvature of the lens, the F-theta lens has the characteristics of a large field of view, low telecentricity and small distortion, effectively reduces measurement errors of light spots in the horizontal direction during laser processing, and better inhibits deformation of laser spots in the range of a scanning field of view.
(FR) L'invention concerne une lentille F-thêta appropriée pour être utilisée dans un traitement au laser. La lentille F-thêta comprend une première lentille (1) ayant une puissance optique positive, une deuxième lentille (2) ayant une puissance optique négative, une troisième lentille (3) ayant une puissance optique positive, une quatrième lentille (4) ayant une puissance optique positive, et une cinquième lentille (5) ayant une puissance optique positive. Grâce à l'optimisation de la courbure de la surface de lentille de la lentille, la lentille F-thêta présente les caractéristiques d'un grand champ de vision, d'une faible télécentricité et d'une faible distorsion, réduit efficacement les erreurs de mesure de points lumineux dans la direction horizontale pendant un traitement au laser, et empêche mieux la déformation de points laser dans la plage d'un champ de vision de balayage.
(ZH) 一种适于在激光加工工艺中使用的F-theta镜头,F-theta镜头包括具有正光焦度的第一透镜(1),具有负光焦度的第二透镜(2),具有正光焦度的第三透镜(3),具有正光焦度的第四透镜(4),以及具有正光焦度的第五透镜(5);通过对透镜的镜面曲率进行优化,使F-theta镜头具有大视场、低远心度和小畸变的特点,有效减小激光加工时光斑在水平向的测量误差,以及较好地抑制了扫描视场范围内激光光斑的变形。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)