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1. (WO2019033560) SUBSTRATE PRE-BAKING DEVICE
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说明书

发明名称

技术领域

1  

背景技术

2   3   4  

对发明的公开

技术问题

5  

技术解决方案

6   7   8   9   10   11   12   13   14   15  

有益效果

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附图说明

17   18   19   20   21   22   23   24   25   26   27  

本发明的最佳实施方式

28   29   30   31   32   33   34   35   36   37   38   39   40   41   42   43  

权利要求书

1   2   3   4   5   6   7   8   9   10  

附图

页1 

说明书

发明名称 : 一种基板预烘烤装置

技术领域

技术领域

[1]
本发明涉及显示器制作工艺等领域,具体为一种基板预烘烤装置。

背景技术

背景技术

[2]
目前的有机发光二极管(OLED)产品生产过程中需要经过很多道热烘烤制程,例如在刻光(Photo)制程中,基板涂布光阻之后,曝光前需要先经过预烘烤处理,将光阻中的溶剂通过加热烘烤的方式去除,提高光阻的感度,使曝光后得到的光阻图形更好。
[3]
预烘烤处理方式:将玻璃基板放置到一个密闭空间内的恒温加热板上进行加热,经过设定的加热时间后烘烤箱的开门开启,机器人将基板取出并放入下一片基板。
[4]
烘烤箱的开门开启过程中,外部的空气会进入到烘烤箱里面造成局部温度下降,导致里面的光阻溶剂在遮蔽层(Cover)上凝结,产生颗粒等影响产品的曝光效果,且烘烤箱中的局部温度过低也会导致产品显影出来的图形局部异常。另外,开门开启的时候里面的光阻溶剂外泄,造成空气污染。

对发明的公开

技术问题

[5]
本发明的目的是:提供一种基板预烘烤装置,加装热风幕系统形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕,以提升产品的良率。

技术解决方案

[6]
实现上述目的的技术方案是:一种基板预烘烤装置,包括烘烤箱体,其内部为烘烤容腔,所述烘烤箱体的一侧面设有侧门开口;侧门,安装于所述侧门开口处; 加热机构,设于所述烘烤容腔中;热风幕系统,设于所述烘烤箱体的侧门处;当所述侧门开启时,所述热风幕系统用于在所述侧门开口处形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕。
[7]
在本发明一较佳实施例中,所述热风幕系统包括出气口,设于所述侧门开口的上缘;管道,连通于所述出气口;加热管,设于所述管道中并连接于所述控制器;风机,所述设于所述管道中并连接于控制器。
[8]
在本发明一较佳实施例中,所述出气口包括第一排出气口,位于所述侧门开口邻接所述烘烤容腔的一侧,用于形成第一道热风幕;第二排出气口,位于所述侧门开口邻接所述外界环境的一侧,用于形成第二道热风幕;其中,所述第一排出气口与所述第二排出气口并排设置。
[9]
在本发明一较佳实施例中,所述第二道热风幕的风速小于所述第一道热风幕的风速。
[10]
在本发明一较佳实施例中,所述第二道热风幕的温度小于所述第一道热风幕的温度。
[11]
在本发明一较佳实施例中,所述热风幕的温度与所述烘烤容腔中的温度保持一致。
[12]
在本发明一较佳实施例中,所述的基板预烘烤装置还包括控制系统,所述加热机构、热风幕系统信号连接于所述控制系统,所述控制系统用于检测所述烘烤容腔的实时温度,并通过所述加热机构控制所述烘烤容腔的实时温度以及用于检测所述热风幕的实时温度,并通过所述热风幕系统控制所述热风幕的温度以及用于控制所述热风幕的风速。
[13]
在本发明一较佳实施例中,所述控制系统包括第一温度传感器组,设于所述烘烤容腔中,用于检测所述烘烤容腔的实时温度信息;第二温度传感器组,设于所述侧门处,用于检测所述热风幕的实时温度信息;控制器,所述第一温度传感器组、第二温度传感器组信号连接于所述控制器;所述第一温度传感器组、第二温度传感器组将所测得的实时温度信息传递至所述控制器。
[14]
在本发明一较佳实施例中,所述控制系统还包括风速传感器组,连接于所述控制器,所述风速传感器用于获取所述热风幕的风速信息,并将该风速信息传递至所述控制器。
[15]
在本发明一较佳实施例中,所述的基板预烘烤装置还包括角度传感器,设于所述侧门上并连接于所述控制器,所述角度传感器用于获取所述侧门的开启信息,当所述控制器从所述角度传感器接收到所述侧门的开启信息后控制所述热风幕系统运行。

有益效果

[16]
本发明的优点是:本发明的基板预烘烤装置,当烘烤箱体中开门开启时,有效的阻止烘烤箱体的烘烤容腔里面的气体流到外界环境或外界环境中的气流进入到烘烤容腔里面,有效的避免了因气流交互流动而引起局部温度变化;从而有效的提高了产品的良率。

附图说明

[17]
下面结合附图和实施例对本发明作进一步解释。
[18]
图1是本发明实施例的烘烤箱体形成热风幕的动态示意图。
[19]
图2是本发明实施例3的所述控制系统的模块图。
[20]
其中,
[21]
1烘烤箱体; 2侧门;
[22]
3加热机构; 4热风幕系统;
[23]
5控制系统; 6基板;
[24]
11烘烤容腔; 12排气管道;
[25]
51第一温度传感器组; 52第二温度传感器组;
[26]
53风速传感器组; 54角度传感器;
[27]
55控制器。

本发明的最佳实施方式

[28]
以下实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「顶」、「底」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。
[29]
实施例1,如图1所示,一种基板预烘烤装置,包括烘烤箱体1、侧门2、加热机构3、热风幕系统4。本实施例的基板预烘烤装置是最简单的结构。
[30]
本实施例中,所述烘烤箱体1的内部为烘烤容腔,所述烘烤箱体1的一侧面设有侧门2开口,所述烘烤箱体1上还设有连通烘烤容腔的排气管道。在具体实施时,烘烤箱体1一般为长方体,长方体的烘烤箱的一侧不设侧面板即形成侧面开口。
[31]
本实施例中,所述侧门2安装于所述侧门2开口处。具体的,该侧门2为开门,当然也可以设置成拉门,但开门的密封性更好。其中,开门的下侧边铰接于所述侧门2开口的下侧边。
[32]
本实施例中,所述加热机构3设于所述烘烤容腔中。具体的,该加热机构3包括加热板,设于所述烘烤容腔的底面。
[33]
本实施例中,所述热风幕系统4设于所述烘烤箱体1的侧门2处; 具体的,所述热风幕系统4包括出气口、管道、加热管、风机。其中,所述出气口沿所述侧门2开口的上缘设置成排。所述管道连通于所述出气口;所述加热管设于所述管道中并连接于所述控制器;所述风机设于所述管道中并连接于控制器。当所述侧门2开启时,所述热风幕系统4用于在所述侧门2开口处形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕。
[34]
实施例2,本实施例与实施例1的区别在于:所述出气口包括第一排出气口、第二排出气口。所述第一排出气口位于所述侧门2开口邻接所述烘烤容腔的一侧,用于形成第一道热风幕;所述第二排出气口位于所述侧门2开口邻接所述外界环境的一侧,用于形成第二道热风幕;其中,所述第一排出气口与所述第二排出气口并排设置。
[35]
本实施例中,所述第二道热风幕的风速小于所述第一道热风幕的风速。本实施例中,可以分别为所述第一道热风幕配置第一风机和第一管道,为所述第二道热风幕配置第二风机和第二管道,然后通过风机的转速来实现风速的控制。或者通过共用一台风机,但分别配置第一管道和第二管道,通过第一管道连接第一排出气口,通过第二管道连接第二排出气口。其中,第一排出气口开口小于第二排出气口的开口。总之,无论何种形式,需要使第一道热风幕和第二道热风幕之间形成速差,第二道热风幕的温度可以与外界环境接近,且小于第一道热风幕的温度,第一道热风幕的温度与所述烘烤容腔中的温度保持一致。此时,由于外界环境的气流、第二道热风幕、第一道热风幕之间存在梯级速差,第二道热风幕与外界环境的热交换少,所述第二道热风幕和第一道热风幕之间的热交换也较少,那么就有效的保持了第一道热风幕的原有温度,使第一道热风幕与所述烘烤容腔中的温度基本保持一致。
[36]
这种设计,有利于减少热交换,同时有效的保持了烘烤容腔的恒温状态,进一步提高产品的良率。
[37]
实施例3
[38]
如图2所示,本实施例与实施例1和实施例2的区别在于,本实施例加装了控制系统5,用于智能化的代替人工控制。所述加热机构3、热风幕系统4信号连接于所述控制系统5,所述控制系统5用于检测所述烘烤容腔的实时温度,并通过所述加热机构3控制所述烘烤容腔的实时温度以及用于检测所述热风幕的实时温度,并通过所述热风幕系统4控制所述热风幕的温度以及用于控制所述热风幕的风速。
[39]
所述控制系统5包括第一温度传感器组51、第二温度传感器组52、风速传感器组53、角度传感器54以及控制器55。
[40]
所述第一温度传感器组51设于所述烘烤容腔中,用于检测所述烘烤容腔的实时温度信息;第二温度传感器组52,设于所述侧门2处,用于检测所述热风幕的实时温度信息。如设置双层风幕时,则利用第一温度传感器组51分别进行温度检测。所述第一温度传感器组51、第二温度传感器组52信号连接于所述控制器55;所述第一温度传感器组51、第二温度传感器组52将所测得的实时温度信息传递至所述控制器55。
[41]
所述风速传感器组53连接于所述控制器55,所述风速传感器用于获取所述热风幕的风速信息,并将该风速信息传递至所述控制器55。
[42]
所述角度传感器54设于所述侧门2上并连接于所述控制器55,所述角度传感器用于获取所述侧门2的开启信息,当所述控制器55从所述角度传感器接收到所述侧门2的开启信息后控制所述热风幕系统4运行。
[43]
以上仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

权利要求书

[权利要求 1]
一种基板预烘烤装置,其包括 烘烤箱体,其内部为烘烤容腔,所述烘烤箱体的一侧面设有侧门开口; 侧门,安装于所述侧门开口处; 加热机构,设于所述烘烤容腔中; 热风幕系统,设于所述烘烤箱体的侧门处; 当所述侧门开启时,所述热风幕系统用于在所述侧门开口处形成隔绝所述烘烤容腔与外界环境的热风幕。
[权利要求 2]
根据权利要求1所述的基板预烘烤装置,其中,所述热风幕系统包括 出气口,设于所述侧门开口的上缘; 管道,连通于所述出气口; 加热管,设于所述管道中并连接于所述控制器; 风机,所述设于所述管道中并连接于控制器。
[权利要求 3]
根据权利要求2所述的基板预烘烤装置,其中,所述出气口包括 第一排出气口,位于所述侧门开口邻接所述烘烤容腔的一侧,用于形成第一道热风幕; 第二排出气口,位于所述侧门开口邻接所述外界环境的一侧,用于形成第二道热风幕; 其中,所述第一排出气口与所述第二排出气口并排设置。
[权利要求 4]
根据权利要求3所述的基板预烘烤装置,其中,所述第二道热风幕的风速小于所述第一道热风幕的风速。
[权利要求 5]
根据权利要求3所述的基板预烘烤装置,其中,所述第二道热风幕的温度小于所述第一道热风幕的温度。
[权利要求 6]
根据权利要求1所述的基板预烘烤装置,其中,所述热风幕的温度与所述烘烤容腔中的温度保持一致。
[权利要求 7]
根据权利要求1所述的基板预烘烤装置,其中,还包括控制系统,所述加热机构、热风幕系统信号连接于所述控制系统,所述控制系统用于检测所述烘烤容腔的实时温度,并通过所述加热机构控制所述烘烤容腔的实时温度以及用于检测所述热风幕的实时温度,并通过所述热风幕系统控制所述热风幕的温度以及用于控制所述热风幕的风速。
[权利要求 8]
根据权利要求7所述的基板预烘烤装置,其中,所述控制系统包括 第一温度传感器组,设于所述烘烤容腔中,用于检测所述烘烤容腔的实时温度信息; 第二温度传感器组,设于所述侧门处,用于检测所述热风幕的实时温度信息; 控制器,所述第一温度传感器组、第二温度传感器组信号连接于所述控制器;所述第一温度传感器组、第二温度传感器组将所测得的实时温度信息传递至所述控制器。
[权利要求 9]
根据权利要求8所述的基板预烘烤装置,其中,所述控制系统还包括风速传感器组,连接于所述控制器,所述风速传感器用于获取所述热风幕的风速信息,并将该风速信息传递至所述控制器。
[权利要求 10]
根据权利要求8所述的基板预烘烤装置,其中,还包括角度传感器,设于所述侧门上并连接于所述控制器,所述角度传感器用于获取所述侧门的开启信息,当所述控制器从所述角度传感器接收到所述侧门的开启信息后控制所述热风幕系统运行。

附图