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1. (WO2019031234) LIGHT DETECTOR
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Pub. No.: WO/2019/031234 International Application No.: PCT/JP2018/027734
Publication Date: 14.02.2019 International Filing Date: 24.07.2018
IPC:
G01J 1/02 (2006.01) ,H01L 27/144 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
1
Photometry, e.g. photographic exposure meter
02
Details
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27
Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
14
including semiconductor components sensitive to infra-red radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
144
Devices controlled by radiation
Applicants:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
Inventors:
山崎 理弘 YAMAZAKI Masahiro; JP
柴山 勝己 SHIBAYAMA Katsumi; JP
北浦 隆介 KITAURA Ryusuke; JP
小池 亮介 KOIKE Ryosuke; JP
田中 豪 TANAKA Go; JP
Agent:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
Priority Data:
2017-15597710.08.2017JP
Title (EN) LIGHT DETECTOR
(FR) DÉTECTEUR DE LUMIÈRE
(JA) 光検出器
Abstract:
(EN) A light detector that comprises: a substrate; a film body that is arranged on the surface of the substrate; a first electrode post that supports the film body; and a second electrode post that supports the film body. The first electrode post has: a first main body part that is shaped like a tube that expands from a first electrode pad toward the side opposite the substrate; a first bottom part that is provided at an end part of the first main body part that is on the substrate side; and a first flange part that is provided at an end part of the first main body part that is on the side opposite the substrate. The first flange part has a first sloped surface that slopes toward the substrate away from the first main body part. A first wiring layer runs to an inner surface of the first main body part via the first sloped surface. The second electrode post and a second wiring layer are formed in the same manner as the first electrode post and the first wiring layer.
(FR) L'invention concerne un détecteur de lumière comprenant : un substrat ; un corps de film disposé sur la surface du substrat ; un premier montant d'électrode qui soutient le corps de film ; et un second montant d'électrode qui soutient le corps de film. Le premier montant d'électrode comprend : une première partie de corps principal formée comme un tube qui s'étend depuis un premier tampon d'électrode vers le côté opposé au substrat ; une première partie de fond située au niveau d'une partie d'extrémité de la première partie de corps principal située sur le côté du substrat ; et une première partie bride située au niveau d'une partie d'extrémité de la première partie de corps principal située sur le côté opposé au substrat. La première partie bride possède une première surface inclinée qui est inclinée vers le substrat à distance de la première partie de corps principal Une première couche de câblage s'étend jusqu'à une surface interne de la première partie de corps principal par l'intermédiaire de la première surface inclinée. Le second montant d'électrode et une seconde couche de câblage sont formés de la même manière que le premier montant d'électrode et la première couche de câblage.
(JA) 光検出器は、基板と、基板の表面上に配置された膜体と、膜体を支持する第1電極ポストと、膜体を支持する第2電極ポストと、を備える。第1電極ポストは、第1電極パッドから基板とは反対側に向かって広がる筒状を呈する第1本体部と、第1本体部における基板側の端部に設けられた第1底部と、第1本体部における基板とは反対側の端部に設けられた第1鍔部と、を有する。第1鍔部には、第1本体部から離れるほど基板に近づくように傾斜した第1傾斜面が設けられている。第1配線層は、第1傾斜面を介して第1本体部の内面に至っている。第2電極ポスト及び第2配線層は、第1電極ポスト及び第1配線層と同様に形成されている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)