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1. (WO2019030526) COLLISION AVOIDANCE FOR PARTICLE BEAM INSTRUMENTS
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Pub. No.: WO/2019/030526 International Application No.: PCT/GB2018/052266
Publication Date: 14.02.2019 International Filing Date: 09.08.2018
IPC:
G01N 23/2251 (2018.01) ,H01J 37/26 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 23/2251]
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
26
Electron or ion microscopes; Electron- or ion-diffraction tubes
Applicants:
OXFORD INSTRUMENTS NANOTECHNOLOGY TOOLS LIMITED [GB/GB]; Tubney Woods Abingdon Oxon OX13 5QX, GB
Inventors:
SWAN, Stuart Andrew; GB
MOLDOVAN, Grigore; GB
BEWICK, Angus; GB
Agent:
GILL JENNINGS & EVERY LLP; The Broadgate Tower 20 Primrose Street London EC2A 2ES, GB
Priority Data:
1712788.709.08.2017GB
Title (EN) COLLISION AVOIDANCE FOR PARTICLE BEAM INSTRUMENTS
(FR) ÉVITEMENT DE COLLISION POUR INSTRUMENTS À FAISCEAU DE PARTICULES
Abstract:
(EN) A system for preventing collisions between components in a particle beam instrument is disclosed. The system is particularly beneficial in use with instruments wherein moveable components are used within a chamber that obscures them from being viewed from outside the chamber. The system comprises: a capacitance sensor configured to monitor the capacitance between a first component and a second component of the instrument, and a proximity module configured to: derive a capacitance parameter from the monitored capacitance between the first component and the second component; and output a proximity alert signal in accordance with a comparison between the derived capacitance parameter and a predetermined capacitance parameter threshold value.
(FR) L'invention concerne un système pour empêcher des collisions entre des éléments dans un instrument à faisceau de particules. Le système est particulièrement avantageux pour une utilisation avec des instruments dans lesquels des éléments mobiles sont utilisés à l'intérieur d'une chambre qui les empêche d'être vus depuis l'extérieur de la chambre. Le système comprend : un capteur de capacité configuré pour surveiller la capacité entre un premier élément et un second élément de l'instrument, et un module de proximité configuré pour : dériver un paramètre de capacité à partir de la capacité surveillée entre le premier élément et le second élément ; et délivrer en sortie un signal d'alerte de proximité en fonction d'une comparaison entre le paramètre de capacité dérivé et une valeur seuil de paramètre de capacité prédéterminée.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)