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1. (WO2019030036) YAW-RATE SENSOR, METHOD FOR PRODUCING A YAW-RATE SENSOR
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Pub. No.: WO/2019/030036 International Application No.: PCT/EP2018/070567
Publication Date: 14.02.2019 International Filing Date: 30.07.2018
IPC:
G01C 19/5783 (2012.01) ,G01C 19/5733 (2012.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
C
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19
Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56
Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5783
Mountings or housings not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607-G01C19/5719127
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
C
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19
Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56
Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719
using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733
Structural details or topology
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
NEUL, Reinhard; DE
LASSL, Andreas; DE
LIEWALD, Jan-Timo; DE
BODE, Niels; DE
KUEHNEL, Matthias; DE
KUHLMANN, Burkhard; DE
PRUETZ, Odd-Axel; DE
KUHLMANN, Nils Felix; DE
DEGENFELD-SCHONBURG, Peter; DE
Priority Data:
10 2017 213 780.008.08.2017DE
Title (DE) DREHRATENSENSOR, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DREHRATENSENSORS
(EN) YAW-RATE SENSOR, METHOD FOR PRODUCING A YAW-RATE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION
Abstract:
(DE) Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat beansprucht, wobei das Substrat eine Haupterstreckungsebene (110, 120) aufweist, wobei der Drehratensensor mindestens ein erstes und ein zweites in Schwingung versetzbares Masseelement aufweist (10, 20), wobei eine erste Haupterstreckungsrichtung (110) des Substrats von dem ersten Masseelement (10) zum zweiten Masseelement (20) zeigt, wobei in die erste Haupterstreckungsrichtung (110) zwischen dem ersten und zweiten Masseelement (10, 20) eine Koppelstruktur (30) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Koppelbereich (31) der Koppelstruktur (30) in einer ersten Funktionsschicht (1) angeordnet ist, wobei ein erster Massebereich (11) des ersten Masseelements (10) in der ersten Funktionsschicht (1) angeordnet ist, wobei ein zweiter Massebereich (12) des ersten Masseelements (10) in einer zweiten Funktionsschicht (2) angeordnet ist, wobei die erste Funktionsschicht (1) in eine Erstreckungsrichtung (200), senkrecht zur Haupterstreckungsebene (110, 120), zwischen dem Substrat und der zweiten Funktionsschicht (2) angeordnet ist, wobei eine zweite Haupterstreckungsrichtung (120) senkrecht auf der ersten Haupterstreckungsrichtung (110) steht, wobei der erste Koppelbereich (31) in die erste Haupterstreckungsrichtung (110) eine größere Ausdehnung aufweist als in die zweite Haupterstreckungsrichtung (120).
(EN) The invention relates to a yaw-rate sensor having a substrate, the substrate comprising a main extension plane (110, 120), the yaw-rate sensor comprising at least one first and one second mass element (10, 20) which can be made to oscillate, a first main extension plane (110) of the substrate pointing from the first mass element (10) to the second mass element (20), a coupling structure (30) being arranged in the first main extension direction (110) between the first and the second mass element (10, 20), characterised in that a first coupling region (31) of the coupling structure (30) is arranged in a first functional layer (1), a first mass region (11) of the first mass element (10) being arranged in the first functional layer (1), a second mass region (12) of the first mass element (10) being arranged in a second functional layer (2), the first functional layer (1) being arranged in an extension direction (200), perpendicular to the main extension plane (110, 120), between the substrate and the second functional layer (2), a second main extension direction (120) being perpendicular to the first main extension direction (110), the first coupling region (31) having a greater dimension in the first main extension direction (110) than in the second main extension direction (120).
(FR) L'invention concerne un capteur de vitesse de rotation pourvu d'un substrat, le substrat présentant un plan d'extension principal (110, 120), le capteur de vitesse de rotation présentant au moins un premier et un deuxième élément massique (10, 20) pouvant être mis en oscillation, une première direction d'extension principale (110) du substrat s'étendant du premier élément massique (10) vers le deuxième élément massique (20). Une structure d'accouplement (30) est agencée, dans la première direction d'extension principale (110), entre le premier et le deuxième élément massique (10, 20). Selon l'invention, une première zone d'accouplement (31) de la structure d'accouplement (30) est agencée dans une première couche fonctionnelle (1), une première zone massique (11) du premier élément massique (10) étant agencée dans la première couche fonctionnelle (1), une deuxième zone massique (12) du premier élément massique (10) étant agencée dans une deuxième couche fonctionnelle (2), la première couche fonctionnelle (1) étant agencée dans une direction d'extension (200) perpendiculaire au plan d'extension principal (110, 120), entre le substrat et la deuxième couche fonctionnelle (2), une deuxième direction d'extension principale (110) étant perpendiculaire à la première direction d'extension principale (110), la première zone d'accouplement (31) présentant une extension plus grande dans la première direction d'extension principale (110) que dans la deuxième direction d'extension principale (120).
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)