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1. (WO2019029634) MASK FORK FOR TRANSFERRING MASK, AND CORRESPONDING MASK BOX AND MASK TRANSFERRING METHOD
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Pub. No.: WO/2019/029634 International Application No.: PCT/CN2018/099679
Publication Date: 14.02.2019 International Filing Date: 09.08.2018
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Exposure; Apparatus therefor
Applicants:
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventors:
王刚 WANG, Gang; CN
张荣军 ZHANG, Rongjun; CN
黄栋梁 HUANG, Dongliang; CN
Agent:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 黄浦区复兴中路1号申能国际大厦606-607室 Units 606-607, Shenergy International Building 1 Middle Fuxing Road, Huangpu District Shanghai 200021, CN
Priority Data:
201710686899.011.08.2017CN
Title (EN) MASK FORK FOR TRANSFERRING MASK, AND CORRESPONDING MASK BOX AND MASK TRANSFERRING METHOD
(FR) FOURCHE DE MASQUE POUR TRANSFERT DE MASQUE, ET BOÎTE DE MASQUE CORRESPONDANTE ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE MASQUE
(ZH) 用于转移掩模版的版叉、相应的版盒及掩模版转移方法
Abstract:
(EN) A mask fork for transferring a mask from a SMIF mask frame. The SMIF mask frame comprises multiple layers of mask supports with L-shaped sections. Each support comprises a support connecting portion extending horizontally and a mask supporting portion extending vertically. A support position limiting portion is further fixed on a bottom end of the support connecting portion. The mask fork comprises a mask fork body and two prongs symmetrically connected to the mask fork body. The prong comprises a transferring portion for supporting a mask and an anti-collision portion. The anti-collision portion comprises a first anti-collision portion extending horizontally and a second anti-collision portion extending vertically. The first anti-collision portion is horizontally connected to a side of the transferring portion away from the mask, and is connected between the transferring portion and the second anti-collision portion, such that when the mask fork transfers a mask from the SMIF mask frame, a vertical distance between the first anti-collision portion and the bottom end of the support position limiting portion is smaller than a vertical distance between the mask and a lower surface of the support connecting portion above the mask.
(FR) La présente invention concerne une fourche de masque destinée à transférer un masque à partir d'un cadre de masque SMIF. Le cadre de masque SMIF comprend de multiples couches de supports de masque ayant des sections en forme de L. Chaque support comprend une partie de raccord de support s'étendant horizontalement et une partie de support de masque s'étendant verticalement. Une partie limitant la position du support est en outre fixée sur une extrémité inférieure de la partie de raccord de support. La fourche de masque comprend un corps de fourche de masque et deux dents reliées symétriquement au corps de fourche de masque. La dent comprend une partie de transfert pour supporter un masque et une partie anti-collision. La partie anti-collision comprend une première partie anti-collision s'étendant horizontalement et une seconde partie anti-collision s'étendant verticalement. La première partie anti-collision est reliée horizontalement à un côté de la partie de transfert à l'écart du masque et elle est raccordée entre la partie de transfert et la seconde partie anti-collision, de telle sorte que lorsque la fourche de masque transfère un masque à partir du cadre de masque SMIF, une distance verticale entre la première partie anti-collision et l'extrémité inférieure de la partie limitant la position de support est inférieure à une distance verticale entre le masque et une surface inférieure de la partie de raccord de support au-dessus du masque.
(ZH) 一种用于从smif版架转移掩模版的版叉,其中smif版架包括有多层截面呈L形的支撑体,每个支撑体包括水平延伸的支撑连接部和竖直延伸的掩模版支撑部,支撑连接部的底端还固定有支撑限位部,版叉包括版叉本体和对称连接在版叉本体上的两根叉杆,叉杆包括支撑掩模版的转移部和防撞部,防撞部包括水平延伸的第一防撞部和竖直延伸的第二防撞部,第一防撞部水平连接于转移部背离掩模版的一侧,第一防撞部连接于转移部和第二防撞部之间,使得当版叉从smif版架转移掩模版时,第一防撞部与支撑限位部的底端之间的垂向距离小于掩模版与该掩模版上方的支撑连接部的下表面之间的垂向距离。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)