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1. (WO2019029142) PRINTING MANUFACTURING METHOD OF NANO-BEAM STRUCTURE
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Pub. No.: WO/2019/029142 International Application No.: PCT/CN2018/075330
Publication Date: 14.02.2019 International Filing Date: 05.02.2018
IPC:
B81C 1/00 (2006.01) ,B82Y 40/00 (2011.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
C
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1
Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82
NANO-TECHNOLOGY
Y
SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANO-STRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANO-STRUCTURES; MANUFACTURE  OR TREATMENT OF NANO-STRUCTURES
40
Manufacture or treatment of nano-structures
Applicants:
大连理工大学 DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY [CN/CN]; 中国辽宁省大连 凌工路2号大连理工大学专利中心 Patent Agency Center of DLUT No.2 Linggong Road Dalian, Liaoning 116024, CN
Inventors:
王大志 WANG, Dazhi; CN
赵小军 ZHAO, Xiaojun; CN
任同群 REN, Tongqun; CN
梁军生 LIANG, Junsheng; CN
Priority Data:
201710678423.210.08.2017CN
Title (EN) PRINTING MANUFACTURING METHOD OF NANO-BEAM STRUCTURE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION PAR IMPRESSION DE STRUCTURE À NANOFAISCEAUX
(ZH) 一种纳米梁结构的打印制造方法
Abstract:
(EN) A printing manufacturing method of a nano-beam structure comprises: conveying an inner layer functional liquid and an outer layer highly-viscous liquid to a coaxial printing nozzle (3); applying a voltage to the coaxial printing nozzle (3), wherein an electric field force acts on both the coaxial inner layer and outer layer liquids, a viscous force generated by cone-jet deformation of the outer layer liquid and an electric field shear force of the inner layer liquid are superimposed to collectively act on the inner layer liquid, and the inner layer and outer layer fluids form nano-scale and micro-scale sheathing jet flows; printing the sheathing coaxial jet flows onto a substrate (6) of a prefabricated support, and applying a thermal field, wherein the inner layer nano structure and the outer layer of highly viscous fluid are respectively cured and semi-cured under the action of the thermal field; and then removing the outer layer of highly viscous sheathing material, and forming, on the substrate (6) of a prefabricated support, a structure of a nano-beam (10) formed only by the inner layer functional material. The method has a simple process and high consistency, can be used for batch manufacturing, reduces costs, and achieves rapid manufacture of high-performance nano-beam devices.
(FR) L’invention concerne un procédé de fabrication par impression d’une structure à nanofaisceaux qui consiste : à transporter un liquide fonctionnel de couche intérieure et un liquide à haute viscosité de couche extérieure vers une buse d’impression coaxiale (3) ; à appliquer une tension à la buse d’impression coaxiale (3), une force de champ électrique agissant sur les liquides coaxiaux de couche intérieure et de couche extérieure, une force visqueuse générée par déformation de jet de cône du liquide de couche extérieure et une force de cisaillement de champ électrique du liquide de couche intérieure sont superposées pour agir collectivement sur le liquide de couche intérieure, et les fluides de couche intérieure et de couche extérieure formant des flux de jets de gainage nanoscopiques et microscopiques ; à imprimer les flux de jet coaxial de gainage sur un substrat (6) d’un support préfabriqué, et à appliquer un champ thermique, la nanostructure de couche intérieure et la couche extérieure de fluide à haute viscosité sont respectivement durcies et semi-durcies sous l’action du champ thermique ; puis à retirer la couche extérieure de matériau gainant à haute viscosité, et à former, sur le substrat (6) d’un support préfabriqué, une structure d’un nanofaisceau (10) formé seulement par le matériau fonctionnel de couche intérieure. Le procédé a un processus simple et une haute cohérence, peut servir à fabriquer en lots, réduit les coûts, et parvient à une fabrication rapide de dispositifs à nanofaisceaux à haute performance.
(ZH) 一种纳米梁结构的打印制造方法,将内层功能液体与外层高粘度液体输送至同轴打印喷头(3),在同轴打印喷头(3)上施加电压,电场力同时作用于同轴内、外层液体,外层液体锥-射流形变产生的粘滞力与内层液体的电场剪切力叠加,共同作用于内层液体,内层和外层流体形成纳米级和微米级的包裹射流,将包裹同轴射流打印到预制支撑体的衬底(6)上,并同时施加热场作用,内层纳米结构和外层高粘度流体在热场作用下分别固化和半固化,然后将外层高粘度包裹材料去除,在预制支撑体的衬底(6)上形成仅由内层功能材料构成的纳米梁(10)结构。这种方法工艺简单、一致性高、可批量制造,可低成本、快速制造高性能纳米梁器件。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)