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1. (WO2019026607) TEST DEVICE, TEST METHOD AND MEMORY MEDIUM
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Pub. No.: WO/2019/026607 International Application No.: PCT/JP2018/026724
Publication Date: 07.02.2019 International Filing Date: 17.07.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01N 21/88 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66
Testing or measuring during manufacture or treatment
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21
Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible, or ultra-violet light
84
Systems specially adapted for particular applications
88
Investigating the presence of flaws, defects or contamination
Applicants:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
Inventors:
田村 宗明 TAMURA, Muneaki; JP
Agent:
金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo; JP
亀谷 美明 KAMEYA, Yoshiaki; JP
萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi; JP
Priority Data:
2017-14819931.07.2017JP
Title (EN) TEST DEVICE, TEST METHOD AND MEMORY MEDIUM
(FR) DISPOSITIF DE TEST, PROCÉDÉ DE TEST ET SUPPORT MÉMOIRE
(JA) 検査装置、検査方法及び記憶媒体
Abstract:
(EN) This test device comprises an imaging unit with a binning function, and a control unit that controls the imaging unit. The control unit is configured in such a manner as to execute: a high-speed low-accuracy testing step of acquiring images of an electrode after a probe needle contacting operation, with an imaging unit with a binning function activated, and, based on these imaging results, determining the state of needle marks on the electrode; and a low-speed high-accuracy testing step of re-acquiring an image with the imaging unit with the binning function deactivated in response to the detection results of the high-speed low-accuracy testing step, and based on these imaging results, determining the state of the needle marks on the re-imaged electrode.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de test comprenant une unité d'imagerie à fonction de compartimentage, et une unité de commande qui commande l'unité d'imagerie. L'unité de commande est configurée de manière à exécuter : une étape de test de faible précision à vitesse élevée consistant à acquérir des images d'une électrode après une opération de contact avec une aiguille de sonde, par une unité d'imagerie à fonction de compartimentage activée et, sur la base de ces résultats d'imagerie, à déterminer l'état de marques d'aiguille sur l'électrode ; et une étape de test de haute précision à faible vitesse consistant à acquérir de nouveau une image par l'unité d'imagerie, la fonction de compartimentage étant désactivée, en réponse aux résultats de détection de l'étape de test de faible précision à vitesse élevée et, sur la base de ces résultats d'imagerie, à déterminer l'état des marques d'aiguille sur l'électrode mise de nouveau en image.
(JA) 検査装置は、ビニング機能を有する撮像部と、当該撮像部を制御する制御部とを備え、当該制御部は、プローブ針の接触動作後の電極を、ビニング機能を有効にした撮像部で撮像させ、このときの撮像結果に基づいて、電極における針痕の状態の判定を行う高速低精度検査工程と、当該高速低精度検査工程での判定結果に応じて、ビニング機能を無効にした撮像部で再度撮像させ、このときの撮像結果に基づいて、再度撮像された電極における針痕の状態の判定を行う低速高精度検査工程と、を実行するように構成されている。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)