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1. (WO2019009394) OPTICAL DEVICE
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Pub. No.: WO/2019/009394 International Application No.: PCT/JP2018/025636
Publication Date: 10.01.2019 International Filing Date: 06.07.2018
IPC:
G02B 26/00 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
3
Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3
Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28
Investigating the spectrum
45
Interferometric spectrometry
Applicants:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
Inventors:
杉本 達哉 SUGIMOTO Tatsuya; JP
鈴木 智史 SUZUKI Tomofumi; JP
港谷 恭輔 KOTANI Kyosuke; JP
Agent:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
Priority Data:
2017-13309306.07.2017JP
2017-23502207.12.2017JP
Title (EN) OPTICAL DEVICE
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE
(JA) 光学デバイス
Abstract:
(EN) This optical device is provided with: an elastic support section for supporting a movable section so that the movable section is capable of moving along a first direction; a first comb electrode comprising a plurality of first comb teeth; and a second comb electrode comprising a plurality of second comb teeth. The elastic support section comprises a torsion bar extending along a second direction perpendicular to the first direction and a nonlinear relaxation spring connected between the torsion bar and the movable section. The nonlinear relaxation spring is configured so that when the movable section has moved in the first direction, the deformation amount of said nonlinear relaxation spring around the second direction becomes smaller than the deformation amount of the torsion bar around the second direction and the deformation amount of said nonlinear relaxation spring in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction becomes larger than the deformation amount of the torsion bar in the third direction. First comb teeth and second comb teeth that are adjacent to each other face each other in the second direction.
(FR) Selon la présente invention, ce dispositif optique comprend : une section de support élastique destinée à supporter une section mobile de telle sorte que la section mobile puisse se déplacer le long d'une première direction ; une première électrode de peigne comprenant une pluralité de premières dents de peigne ; et une deuxième électrode de peigne comprenant une pluralité de deuxièmes dents de peigne. La section de support élastique comprend une barre de torsion s'étendant le long d'une deuxième direction perpendiculaire à la première direction et un ressort de détente non linéaire connecté entre la barre de torsion et la section mobile. Le ressort de détente non linéaire est configuré de telle sorte que lorsque la section mobile s'est déplacée dans la première direction, la quantité de déformation dudit ressort de détente non linéaire autour de la deuxième direction devienne inférieure à la quantité de déformation de la barre de torsion autour de la deuxième direction et que la quantité de déformation dudit ressort de détente non linéaire dans une troisième direction perpendiculaire à la première direction et à la deuxième direction devienne plus grande que la quantité de déformation de la barre de torsion dans la troisième direction. Des premières dents de peigne et des deuxièmes dents de peigne qui sont adjacentes l'une à l'autre se font face dans la deuxième direction.
(JA) 光学デバイスは、可動部が第1方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部と、複数の第1櫛歯を有する第1櫛歯電極と、複数の第2櫛歯を有する第2櫛歯電極と、を備える。弾性支持部は、第1方向に垂直な第2方向に沿って延在するトーションバーと、トーションバーと可動部との間に接続された非線形性緩和バネと、を有する。非線形性緩和バネは、可動部が第1方向に移動した状態において、第2方向周りにおける非線形性緩和バネの変形量が第2方向周りにおけるトーションバーの変形量よりも小さくなり、且つ、第1方向及び第2方向に垂直な第3方向における非線形性緩和バネの変形量が第3方向におけるトーションバーの変形量よりも大きくなるように、構成されている。隣り合う第1櫛歯と第2櫛歯とは、第2方向において互いに向かい合っている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)