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1. (WO2019009393) OPTICAL DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
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Pub. No.: WO/2019/009393 International Application No.: PCT/JP2018/025635
Publication Date: 10.01.2019 International Filing Date: 06.07.2018
IPC:
G02B 26/00 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01) ,G01J 3/45 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26
Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
3
Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
9
Instruments as specified in the subgroups and characterised by the use of optical measuring means
02
Interferometers
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
J
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3
Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28
Investigating the spectrum
45
Interferometric spectrometry
Applicants:
浜松ホトニクス株式会社 HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1 1126-1, Ichino-cho, Higashi-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 4358558, JP
Inventors:
杉本 達哉 SUGIMOTO Tatsuya; JP
鈴木 智史 SUZUKI Tomofumi; JP
港谷 恭輔 KOTANI Kyosuke; JP
Agent:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柴山 健一 SHIBAYAMA Kenichi; JP
Priority Data:
2017-13309306.07.2017JP
2017-23502107.12.2017JP
Title (EN) OPTICAL DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF OPTIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 光学デバイス及びその製造方法
Abstract:
(EN) The purpose of the present invention is to provide an optical device, and a method for manufacturing the same, with which it is possible to move a movable part a great deal along a prescribed direction while suppressing sticking. This optical device (10) comprises: a base (12); a movable part (11) having an optical function part (11a); elastic support parts (14, 15) that support the movable part (11) such that the movable part is capable of moving along a first direction; a first comb-tooth electrode (161) provided to the base (12); and a second comb-tooth electrode (162) provided to the movable part (11) and/or the elastic support parts (14, 15), the second comb-tooth electrode having a plurality of second comb teeth. The elastic support parts (14, 15) have torsion bars (147, 157) extending along a second direction perpendicular to the first direction, and levers (141, 151) to which the torsion bars (147, 157) are connected. The second comb-tooth electrode (162) is provided to a portion of the movable part and/or the elastic support parts that is positioned closer to the optical function part (11a) than are the torsion bars (147, 157). Adjacent first teeth (161a) and second teeth (162a) mesh with each other in the direction, among the second direction and a third direction perpendicular to the first direction and to the second direction, in which the external force resistance of the movable part is greatest.
(FR) La présente invention a pour objet de fournir un dispositif optique, et son procédé de fabrication, au moyen desquels il est possible de grandement déplacer une partie mobile le long d'une direction prescrite tout en supprimant l'adhérence. Ledit dispositif optique (10) comprend : une base (12) ; une partie mobile (11) comprenant une partie de fonction optique (11a) ; des parties de support élastiques (14, 15) qui supportent la partie mobile (11) de telle sorte que la partie mobile puisse se déplacer le long d'une première direction ; une première électrode en forme de peigne (161) disposée sur la base (12) ; et une deuxième électrode en dents de peigne (162) disposée sur la partie mobile (11) et/ou les parties de support élastiques (14, 15), la deuxième électrode en dents de peigne comprenant une pluralité de deuxièmes dents de peigne. Les parties de support élastiques (14, 15) comprennent des barres de torsion (147, 157) s'étendant le long d'une deuxième direction perpendiculaire à la première direction, et des leviers (141, 151) auxquels les barres de torsion (147, 157) sont reliées. La deuxième électrode en dents de peigne (162) est disposée sur une partie de la partie mobile et/ou les parties de support élastiques qui sont positionnées plus près de la partie de fonction optique (11a) que ne le sont les barres de torsion (147, 157). Des premières dents (161a) et des deuxièmes dents (162a) adjacentes s'engrènent mutuellement dans la direction, parmi la deuxième direction et une troisième direction perpendiculaires à la première direction et à la deuxième direction, dans laquelle la résistance à la force externe de la partie mobile est la plus grande.
(JA) 本発明は、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向に沿って大きく移動させることができる光学デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。 本発明の光学デバイス(10)は、ベース(12)と、光学機能部(11a)を有する可動部(11)と、可動部(11)が第1方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部(14,15)と、ベース(12)に設けられた第1櫛歯電極(161)と、可動部(11)及び弾性支持部(14,15)の少なくとも一方に設けられた複数の第2櫛歯を有する第2櫛歯電極(162)と、を備える。弾性支持部(14,15)は、第1方向に垂直な第2方向に沿って延在するトーションバー(147,157)と、トーションバー(147,157)が接続されたレバー(141,151)と、を有する。第2櫛歯電極(162)は、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方のうちトーションバー(147,157)よりも光学機能部側(11a)に位置する部分に設けられている。隣り合う第1櫛歯(161a)と第2櫛歯(162a)とは、第2方向、又は、第1方向及び第2方向に垂直な第3方向のうち、可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている。
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Filing Language: Japanese (JA)