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1. (WO2019005844) TILTED SEGMENTED ANISOTROPIC MAGNETO-RESISTIVE ANGULAR SENSOR
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Pub. No.: WO/2019/005844 International Application No.: PCT/US2018/039570
Publication Date: 03.01.2019 International Filing Date: 26.06.2018
IPC:
G01R 33/09 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06
using galvano-magnetic devices
09
Magneto-resistive devices
Applicants:
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED [US/US]; P.o. Box 655474 Mail Station 3999 Dallas, TX 75265-5474, US
TEXAS INSTRUMENTS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 24-1, Nishi-shinjuku 6-chome Shinjuku-ku, 160-8366, JP (JP)
Inventors:
SHULVER, Byron Jon Roderick; US
LEE, Dok Won; US
Agent:
DAVIS, Jr. Michael A.; US
GARNER, Jacqueline, J.; US
Common
Representative:
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED; Michael A. Davis, Jr. P.o. Box 655474 Mail Station 3999 Dallas, TX 75265-5474, US
Priority Data:
15/633,51626.06.2017US
Title (EN) TILTED SEGMENTED ANISOTROPIC MAGNETO-RESISTIVE ANGULAR SENSOR
(FR) CAPTEUR ANGULAIRE MAGNÉTORÉSISTIF ANISOTROPE SEGMENTÉ INCLINÉ
Abstract:
(EN) An integrated AMR sensor includes a half bridge with two resistors, a Wheatstone bridge with four resistors, or a first Wheatstone bridge with four resistors in an orthogonal configuration, and a second Wheatstone bridge with four resistors in an orthogonal configuration, oriented at 45 degrees with respect to the first Wheatstone bridge. Each resistor (204) includes first magnetoresistive segments (284) with current flow directions (288) oriented at a first tilt angle with respect to a reference direction (206) of the resistor (204), and second magnetoresistive segments (286) with current flow directions (290) oriented at a second tilt angle with respect to the reference direction (206). The tilt angles are selected to advantageously cancel angular errors due to shape anisotropies of the magnetoresistive segments (284, 286). In another implementation, a method identifies tilt angles that cancel angular errors due to shape anisotropies of the magnetoresistive segments (284, 286).
(FR) L'invention concerne un capteur AMR intégré comprenant un demi-pont à deux résistances, un pont de Wheatstone à quatre résistances ou un premier pont de Wheatstone à quatre résistances dans une configuration orthogonale et un second pont de Wheatstone à quatre résistances dans une configuration orthogonale, orienté à 45 degrés par rapport au premier pont de Wheatstone. Chaque résistance (204) comprend des premiers segments magnétorésistifs (284), dont les directions de circulation de courant (288) sont orientées selon un premier angle d'inclinaison par rapport à une direction de référence (206) de la résistance (204), et des seconds segments magnétorésistifs (286), dont des directions d'écoulement de courant (290) sont orientées selon un second angle d'inclinaison par rapport à la direction de référence (206). Les angles d'inclinaison sont sélectionnés pour annuler avantageusement des erreurs angulaires dues à des anisotropies de forme des segments magnétorésistifs (284, 286). Dans un autre mode de réalisation, un procédé identifie des angles d'inclinaison qui éliminent des erreurs angulaires dues à des anisotropies de forme des segments magnétorésistifs (284, 286).
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)