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1. (WO2019002870) SCANNING PROBE MICROSCOPE
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Pub. No.: WO/2019/002870 International Application No.: PCT/GB2018/051812
Publication Date: 03.01.2019 International Filing Date: 28.06.2018
IPC:
G01Q 10/04 (2010.01) ,G01Q 10/06 (2010.01) ,G01Q 20/02 (2010.01) ,G01Q 60/34 (2010.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
10
Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04
Fine scanning or positioning
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
10
Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04
Fine scanning or positioning
06
Circuits or algorithms therefor
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
20
Monitoring the movement or position of the probe
02
by optical means
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
60
Particular types of SPM [Scanning-Probe Microscopy] or apparatus therefor; Essential components thereof
24
AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
32
AC mode
34
Tapping mode
Applicants:
INFINITESIMA LIMITED [GB/GB]; 1 Hitching Court Blacklands Way Abingdon Oxfordshire OX14 1RG, GB
Inventors:
HUMPHRIS, Andrew; GB
GRAY, David; GB
Agent:
WITHERS & ROGERS LLP; 4 More London Riverside London Greater London SE1 2AU, GB
Priority Data:
1710294.828.06.2017GB
Title (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
Abstract:
(EN) A scanning probe microscope with a first actuator (3) configured to move a feature in the form of a tip (2) so that the feature follows a scanning motion. A vision system (10) is configured to collect light from a field of view to generate image data. The field of view includes the feature and the light from the field of view travels from the feature to the vision system via the steering element (13). A tracking control system (15)bis configured to generate one or more tracking drive signals in accordance with stored reference data. A second actuator (14) is configured to receive the one or more tracking drive signals and move the steering element on the basis of the one or more tracking drive signals so that the field of view follows a tracking motion which is synchronous with the scanning motion and the feature remains within the field of view. An image analysis system (20) is configured to analyse the image data from the vision system to identify the feature and measure an apparent motion of the feature relative to the field of view. A calibration system is configured to adjust the stored reference data based on the apparent motion measured by the image analysis system.
(FR) La présente invention concerne un microscope-sonde à balayage comprenant un premier actionneur (3) conçu pour déplacer un élément sous forme de pointe (2) de sorte que l'élément suive un mouvement de balayage. Un système de vision (10) est conçu pour collecter la lumière en provenance d'un champ de vision afin de générer des données d'image. Le champ de vision comprend l'élément et la lumière en provenance du champ de vision se déplace depuis l'élément jusqu'au système de vision par l'intermédiaire de l'élément de direction (13). Un système de commande de suivi (15) est conçu pour générer un ou plusieurs signaux de commande de suivi en fonction de données de référence mémorisées. Un second actionneur (14) est conçu pour recevoir le ou les signaux de commande de suivi et déplacer l'élément de direction sur la base du ou des signaux de commande de suivi de sorte que le champ de vision suive un mouvement de suivi qui est synchrone avec le mouvement de balayage et que l'élément reste dans le champ de vision. Un système d'analyse d'image (20) est conçu pour analyser les données d'image en provenance du système de vision pour identifier l'élément et mesurer un mouvement apparent de l'élément par rapport au champ de vision. Un système d'étalonnage est conçu pour ajuster les données de référence mémorisées sur la base du mouvement apparent mesuré par le système d'analyse d'image.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)