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1. (WO2019000021) SPECIMEN CONTROL MEANS FOR PARTICLE BEAM MICROSCOPY
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Pub. No.: WO/2019/000021 International Application No.: PCT/AU2018/050605
Publication Date: 03.01.2019 International Filing Date: 19.06.2018
IPC:
H01J 37/20 (2006.01) ,G01N 23/20025 (2018.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
20
Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
[IPC code unknown for ERROR IPC Code incorrect: invalid subgroup (0=>999999)!]
Applicants:
DANILATOS, Gerasimos Daniel [AU/AU]; AU
Inventors:
DANILATOS, Gerasimos Daniel; AU
Priority Data:
201790246026.06.2017AU
201890020022.01.2018AU
Title (EN) SPECIMEN CONTROL MEANS FOR PARTICLE BEAM MICROSCOPY
(FR) MOYEN DE GESTION D'ÉCHANTILLON POUR MICROSCOPIE À FAISCEAU DE PARTICULES
Abstract:
(EN) Specimen control means are disclosed for use with multipurpose particle beam instruments, such as with SEM, ESEM, TESEM, TEM, ETEM and ion microscopes. It provides a control stage located outside a chamber with a flexible wall that allows specimen movement inside the chamber. The same stage can open or close the bottom of the chamber base carrying a specimen stub, which is transferred to and from a conveyor belt or carousel supplied with a multitude of stubs filled with new specimens for examination. The chamber is further supplied with directed gas controls to regulate its gaseous environment. There is a supply of clean gas to maintain the instrument and specimen free of contamination, or to provide a reactant gas for microfabrication, or to enhance signal detection in a microscope. Stationary charged particle beam instruments are equipped with micro-mechanical specimen scanning for use in ultra-high resolution particle beam technologies.
(FR) L'invention concerne des moyens de gestion d'échantillon destinés à être utilisés avec des instruments à faisceau de particules à usages multiples, tels que des microscopes MEB, ESEM, TESEM, MET, ETEM et des microscopes ioniques. L'invention comprend un étage de commande situé à l'extérieur d'une chambre présentant une paroi souple qui permet un déplacement d'échantillon à l'intérieur de la chambre. Le même étage peut ouvrir ou fermer le fond de la base de la chambre transportant un porte-échantillon qui est transféré vers et à partir d'une bande transporteuse ou d'un carrousel alimenté par une multitude de supports remplis de nouveaux échantillons en vue de leur examen. La chambre est en outre alimentée par des commandes dirigées du gaz pour réguler son environnement gazeux. Une alimentation en gaz propre vise à maintenir l'instrument et l'échantillon en dehors de toute contamination, ou à produire un gaz réactif pour une microfabrication, ou pour améliorer la détection de signal dans un microscope. Des instruments à faisceau de particules chargées fixes sont équipés d'un balayage d'échantillon micro-mécanique destiné à être utilisé dans des technologies de faisceau de particules à très haute résolution.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)