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1. (WO2018227892) GAS DETECTION METHOD FOR MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SENSOR, SENSOR AND STORAGE MEDIUM
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Pub. No.: WO/2018/227892 International Application No.: PCT/CN2017/113401
Publication Date: 20.12.2018 International Filing Date: 28.11.2017
IPC:
G01N 33/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
33
Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/-G01N31/131
Applicants:
广东美的制冷设备有限公司 GD MIDEA ARI-CONDITIONING EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; 中国广东省佛山市 顺德区北滘镇林港路 Lingang Road, Beijiao, Shunde Foshan, Guangdong 528311, CN
美的集团股份有限公司 MIDEA GROUP CO., LTD. [CN/CN]; 中国广东省佛山市 顺德区北滘镇美的大道6号美的总部大楼B区26-28楼 B26-28F, Midea Headquarter Building, No. 6 Midea Avenue, Beijiao, Shunde Foshan, Guangdong 528311, CN
Inventors:
罗彪 LUO, Biao; CN
Agent:
深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 CENFO INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国广东省深圳市 南山区南山大道3838号设计产业园金栋二层210-212(原南头城工业村11栋) (Block 11, Industrial Village of Former Nantou Cheng) Room 210-212, 2/F, Building "Golden" Design Industrial Park, No 3838, Nanshan Road, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518052, CN
Priority Data:
201710457067.115.06.2017CN
Title (EN) GAS DETECTION METHOD FOR MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM SENSOR, SENSOR AND STORAGE MEDIUM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE GAZ POUR CAPTEUR DE SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE, CAPTEUR ET SUPPORT D'INFORMATIONS
(ZH) 微机电系统传感器的气体检测方法、传感器及存储介质
Abstract:
(EN) A gas detection method for a micro-electro-mechanical system (MEMS) sensor, a gas sensor and a computer readable storage medium, the gas detection method comprising: the MEMS sensor first controlling a micro-heater therein to operate at a first temperature value, and acquiring a first detection value that is obtained by means of detection (S10); then, according to the first detection value, determining and obtaining a second temperature value, the detection sensitivity which corresponds to the second temperature value being higher than the detection sensitivity which corresponds to the first temperature value, and the second temperature value being greater than the first temperature value (S20); next, the MEMS sensor controlling the micro-heater therein to operate at the second temperature value, and acquiring a second detection value that is obtained by means of detection (S30); outputting the second detection value as a current actual detection value (S40); controlling the MEMS sensor to operate at the first temperature value (S50). Relative to the existing technology, the gas detection method may improve the accuracy of the detection value while consuming little power.
(FR) L'invention concerne un procédé de détection de gaz pour un capteur de système microélectromécanique (MEMS), un capteur de gaz et un support d'informations lisible par ordinateur, le procédé de détection de gaz comprend les étapes suivantes : le capteur MEMS premièrement commande un micro-dispositif de chauffage en son sein pour le faire fonctionner à une première valeur de température, et acquiert une première valeur de détection obtenue au moyen d'une détection (S10) ; puis, en fonction de la première valeur de détection, la détermination et l'obtention d'une seconde valeur de température, la sensibilité de détection correspondant à la seconde valeur de température étant supérieure à la sensibilité de détection correspondant à la première valeur de température, et la seconde valeur de température étant supérieure à la première valeur de température (S20) ; après, le capteur MEMS commande le micro-dispositif de chauffage en son sein pour le faire fonctionner à la seconde valeur de température, et acquiert une seconde valeur de détection obtenue au moyen d'une détection (S30) ; l'émission en sortie de la seconde valeur de détection en tant que valeur de détection réelle en cours (S40) ; la commande du capteur MEMS pour le faire fonctionner à la première valeur de température (S50). Par rapport à la technologie existante, le procédé de détection de gaz permet d'améliorer la précision de la valeur de détection tout en consommant peu d'énergie.
(ZH) 一种MEMS传感器的气体检测方法、气体传感器及计算机可读取存储介质,气体检测方法包括:MEMS传感器首先控制其内部的微加热器工作在第一温度值,并获取检测得到的第一检测值(S10);接着根据第一检测值确定得到第二温度值,第二温度值对应的检测灵敏度高于第一温度值对应的检测灵敏度,第二温度值大于第一温度值(S20);然后MEMS传感器控制其内部的微加热器工作在第二温度值并获取检测得到的第二检测值(S30);输出第二检测值为当前的实际检测值(S40);控制微机电系统传感器工作在第一温度值(S50)。该气体检测方法相对现有技术能在兼顾低功耗的要求下提高检测值的准确性。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)