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1. (WO2018226481) WAVEGUIDE FABRICATION WITH SACRIFICIAL SIDEWALL SPACERS
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Pub. No.: WO/2018/226481 International Application No.: PCT/US2018/035140
Publication Date: 13.12.2018 International Filing Date: 30.05.2018
IPC:
F21V 8/00 (2006.01) ,G02B 27/01 (2006.01) ,G02B 27/44 (2006.01)
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
21
LIGHTING
V
FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
8
Use of light guides, e.g. fibre optic devices, in lighting devices or systems
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27
Other optical systems; Other optical apparatus
01
Head-up displays
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27
Other optical systems; Other optical apparatus
42
Diffraction optics
44
Grating systems; Zone plate systems
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors:
YOUNG, Michael Yu-tak; US
MCMILLAN, Wayne; US
THIJSSEN, Rutger; US
VISSER, Robert Jan; US
Agent:
PATTERSON, B. Todd; US
VERSTEEG, Steven H.; US
Priority Data:
62/515,38105.06.2017US
Title (EN) WAVEGUIDE FABRICATION WITH SACRIFICIAL SIDEWALL SPACERS
(FR) FABRICATION DE GUIDE D'ONDES AVEC DES ENTRETOISES DE PAROI LATÉRALE SACRIFICIELLES
Abstract:
(EN) Embodiments described herein relate to apparatus and methods for display structure fabrication. In one embodiment, a waveguide structure having an input grating structure and an output grating structure is fabricated and a spacer material is deposited on the waveguide. The spacer material is etched from various portions of the waveguide structure and a high refractive index material is deposited on the waveguide. Portions of the spacer material remaining on the waveguide structure are removed leaving the high refractive index material disposed on desired surfaces of the waveguide structure.
(FR) La présente invention porte, dans des modes de réalisation, sur un appareil et sur des procédés de fabrication de structure d'affichage. Selon un mode de réalisation, une structure de guide d'ondes ayant une structure de réseau d'entrée et une structure de réseau de sortie est fabriquée et un matériau d'entretoise est déposé sur le guide d'ondes. Le matériau d'entretoise est gravé à partir de diverses parties de la structure de guide d'ondes et un matériau à indice de réfraction élevé est déposé sur le guide d'ondes. Des parties du matériau d'entretoise restant sur la structure de guide d'ondes sont retirées, laissant le matériau à indice de réfraction élevé disposé sur des surfaces souhaitées de la structure de guide d'ondes.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)