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1. (WO2018225853) CAPACITATIVE TYPE PRESSURE SENSOR
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Pub. No.: WO/2018/225853 International Application No.: PCT/JP2018/022000
Publication Date: 13.12.2018 International Filing Date: 08.06.2018
IPC:
G01L 27/00 (2006.01) ,G01L 9/12 (2006.01) ,G01L 21/00 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
27
Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9
Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
12
by making use of variations in capacitance
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21
Vacuum gauges
Applicants:
アズビル株式会社 AZBIL CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内2丁目7番3号 2-7-3, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006419, JP
Inventors:
関根 正志 SEKINE, Masashi; JP
石原 卓也 ISHIHARA, Takuya; JP
添田 将 SOEDA, Masaru; JP
栃木 偉伸 TOCHIGI, Hidenobu; JP
Agent:
山川 茂樹 YAMAKAWA, Shigeki; JP
山川 政樹 YAMAKAWA, Masaki; JP
Priority Data:
2017-11403609.06.2017JP
Title (EN) CAPACITATIVE TYPE PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION DE TYPE CAPACITIF
(JA) 静電容量型圧力センサ
Abstract:
(EN) A diaphragm vacuum gauge (100) is provided with a temperature difference calculating unit (14) and an abnormality determining unit (15). The temperature difference calculating unit (14) obtains a temperature difference Δt between a temperature t1 inside a sensor case (4), measured by means of a control temperature sensor (9), and a temperature t2 of a heater (5), measured by means of a heater monitoring temperature sensor (10). The abnormality determining unit (15) determines that an indication of an abnormality in the heater (5) has appeared if the temperature difference Δt obtained by the temperature difference calculating unit (14) exceeds an abnormality determination threshold Δtth stored in an abnormality determination threshold storage unit (16). It is thus possible to discover an abnormality of the heater (5) at an early stage.
(FR) L'invention concerne un vacuomètre à diaphragme (100) comprenant une unité de calcul de différence de température (14) et une unité de détermination d'anomalie (15). L'unité de calcul de différence de température (14) obtient une différence de température Δt entre une température t1 à l'intérieur d'un boîtier de capteur (4), mesurée au moyen d'un capteur de température de commande (9), et une température t2 d'un dispositif de chauffage (5), mesurée au moyen d'un capteur de température de surveillance de dispositif de chauffage (10). L'unité de détermination d'anomalie (15) détermine qu'une indication d'une anomalie dans le dispositif de chauffage (5) est survenue si la différence de température Δt obtenue par l'unité de calcul de différence de température (14) dépasse un seuil de détermination d'anomalie Δtth mémorisé dans une unité de mémorisation de seuil de détermination d'anomalie (16). Ainsi, il est possible de découvrir une anomalie du dispositif de chauffage (5) à un stade précoce.
(JA) 隔膜真空計(100)は、温度差算出部(14)と異常判定部(15)とを備えている。温度差算出部(14)は、制御用温度センサ(9)によって測定されるセンサケース(4)内の温度t1とヒータ監視用温度センサ(10)によって測定されるヒータ(5)の温度t2との温度差Δtを求める。異常判定部(15)は、温度差算出部(14)によって求められた温度差Δtが異常判定用閾値記憶部(16)に記憶されている異常判定用の閾値Δtthを超えた場合に、ヒータ(5)に異常の兆候が現れたと判定する。これにより、ヒータ(5)の異常を早期に発見することができる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)