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1. (WO2018221345) VACUUM PUMP AND HEATING DEVICE THEREOF
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Pub. No.: WO/2018/221345 International Application No.: PCT/JP2018/019824
Publication Date: 06.12.2018 International Filing Date: 23.05.2018
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04
POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
D
NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19
Axial-flow pumps specially adapted for elastic fluids
02
Multi-stage pumps
04
specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
Applicants:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
Inventors:
大立 好伸 OHTACHI Yoshinobu; JP
前島 靖 MAEJIMA Yasushi; JP
高阿田 勉 TAKAADA Tsutomu; JP
Priority Data:
2017-10610830.05.2017JP
Title (EN) VACUUM PUMP AND HEATING DEVICE THEREOF
(FR) POMPE À VIDE ET SON DISPOSITIF DE CHAUFFAGE
(JA) 真空ポンプとその加熱装置
Abstract:
(EN) Provided are a vacuum pump and a heating device therefor that are suitable for extending the lifetime of a heating means used as a countermeasure to prevent product accumulation in a vacuum pump. The vacuum pump evacuates gas using rotation of a rotary body and includes an exhaust flow path for evacuating the gas and a heating means (HM) for heating the exhaust flow path. The heating means (HM) is constituted by connecting a plurality of resistance heating bodies (RE) in parallel with a pair of wiring lines (WL1, WL2). In addition, the heating means (HM) is provided with: a current measurement means (101) that measures the sum of the values of currents flowing through the plurality of resistance heating bodies (RE); a determination means (102) that determines malfunction states of the plurality of resistance heating bodies (RE) on the basis of measurement values obtained by the current measurement means (101); and an output means (103) that outputs malfunction states determined by the determination means (102).
(FR) L'invention concerne une pompe à vide et un dispositif de chauffage associé qui sont appropriés pour prolonger la durée de vie d'un moyen de chauffage utilisé en tant que contre-mesure pour empêcher une accumulation de produit dans une pompe à vide. La pompe à vide évacue le gaz en utilisant la rotation d'un corps rotatif et comprend un trajet d'écoulement d'échappement pour évacuer le gaz et un moyen de chauffage (HM) pour chauffer le trajet d'écoulement d'échappement. Le moyen de chauffage (HM) est constitué par le raccordement d'une pluralité de corps de chauffage par résistance (RE) en parallèle avec une paire de lignes de câblage (WL1, WL2). De plus, le moyen de chauffage (HM) comprend : un moyen de mesure de courant (101) qui mesure la somme des valeurs de courants circulant à travers la pluralité de corps de chauffage par résistance (RE) ; un moyen de détermination (102) qui détermine des états de dysfonctionnement de la pluralité de corps de chauffage par résistance (RE) sur la base de valeurs de mesure obtenues par le moyen de mesure de courant (101) ; et un moyen de sortie (103) qui délivre des états de dysfonctionnement déterminés par le moyen de détermination (102).
(JA) 真空ポンプにおける生成物堆積防止対策として用いられる加熱手段の延命化を図るのに好適な真空ポンプとその加熱装置を提供する。回転体の回転によりガスを排気する真空ポンプは、ガスを排気するための排気流路と、排気流路を加熱する加熱手段(HM)と、を有し、加熱手段(HM)は、一対の配線ライン(WL1)、(WL2)に対して複数の抵抗発熱体(RE)を並列に接続して構成されている。また、加熱手段(HM)は、複数の抵抗発熱体(RE)に流れる電流値の総和を測定する電流測定手段(101)と、電流測定手段(101)での測定値に基づき複数の抵抗発熱体(RE)の故障具合を判別する判別手段(102)や、判別手段(102)で判別した故障具合を出力する出力手段(103)を備えている。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)