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1. (WO2018221198) SYSTEM, METHOD AND COMPUTER PROGRAM FOR MANAGING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
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Pub. No.: WO/2018/221198 International Application No.: PCT/JP2018/018668
Publication Date: 06.12.2018 International Filing Date: 15.05.2018
IPC:
G05B 19/418 (2006.01) ,G05B 23/02 (2006.01)
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19
Programme-control systems
02
electric
418
Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control (DNC), flexible manufacturing systems (FMS), integrated manufacturing systems (IMS), computer integrated manufacturing (CIM)
G PHYSICS
05
CONTROLLING; REGULATING
B
CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
23
Testing or monitoring of control systems or parts thereof
02
Electric testing or monitoring
Applicants:
株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 大阪府大阪市西区立売堀2丁目3番2号 2-3-2, Itachibori, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500012, JP
Inventors:
丹野 竜太郎 TANNO Ryutaro; JP
松田 隆博 MATSUDA Takahiro; JP
篠原 努 SHINOHARA Tsutomu; JP
Agent:
粕川 敏夫 KASUKAWA Toshio; JP
Priority Data:
2017-10854431.05.2017JP
Title (EN) SYSTEM, METHOD AND COMPUTER PROGRAM FOR MANAGING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
(FR) SYSTÈME, PROCÉDÉ ET PROGRAMME INFORMATIQUE PERMETTANT DE GÉRER UN APPAREIL DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体製造装置の管理システム、方法、及びコンピュータプログラム
Abstract:
(EN) [Problem] To enable a manager to intuitively identify each component in a semiconductor manufacturing apparatus configured from a plurality of components such as a fluid control device and the like. In addition, to provide information on the identified component to the manager so as to enable the manager to easily know the information on the identified component. [Solution] In a system in which a manager terminal 3 and an information processing device 2 are configured to be able to communicate with each other through networks NW1, NW2, the manager terminal 3 receives information on a component of a semiconductor manufacturing apparatus 1 from the information processing device 2. When a specific processing unit 32 specifies the position of a component that constitutes the semiconductor manufacturing apparatus 1 in a captured image of the semiconductor manufacturing apparatus 1, a synthesis processing unit 33 generates a synthesized image by synthesizing, with the captured image, the information on the component at the position of the specified component, and an image display unit 34 displays the synthesized image. On the other hand, the information processing device 2 extracts the information on the component by means of the extraction processing unit 21 with reference to a component information storage unit 2A, and transmits the information on the component to the manager terminal 3.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de permettre à un gestionnaire d'identifier intuitivement chaque composant dans un appareil de fabrication de semi-conducteur configuré à partir d'une pluralité de composants tels qu'un dispositif de commande de fluide et similaire. De plus, le but de la présente invention est de fournir des informations sur le composant identifié au gestionnaire de manière à lui permettre de connaître facilement les informations sur le composant identifié. La solution selon l'invention porte sur un système dans lequel un terminal gestionnaire (3) et un dispositif de traitement d'informations (2) sont configurés pour pouvoir communiquer l'un avec l'autre par l'intermédiaire de réseaux (NW1, NW2), le terminal gestionnaire (3) reçoit des informations sur un composant d'un appareil de fabrication de semi-conducteur (1) à partir du dispositif de traitement d'informations (2). Lorsqu'une unité de traitement spécifique (32) spécifie la position d'un composant qui constitue l'appareil de fabrication de semi-conducteur (1) dans une image capturée de l'appareil de fabrication de semi-conducteur (1), une unité de traitement de synthèse (33) génère une image synthétisée en synthétisant, avec l'image capturée, les informations sur le composant à la position du composant spécifié, et une unité d'affichage d'image (34) affiche l'image synthétisée. D'autre part, le dispositif de traitement d'informations (2) extrait les informations sur le composant au moyen de l'unité de traitement d'extraction (21) en référence à une unité de stockage d'informations de composant (2A), et transmet les informations sur le composant au terminal gestionnaire (3).
(JA) 【課題】流体制御機器等の複数の部品によって構成される半導体製造装置において、管理者が各部品を直感的に識別できるようにする。また、識別された部品の情報を管理者に対して分かりやすく提供する。 【解決手段】管理者端末3と情報処理装置2とがネットワークNW1、2を介して通信可能に構成されたシステムにおいて、管理者端末3は情報処理装置2から半導体製造装置1の部品情報を受信する。特定処理部32により、半導体製造装置1の撮影画像について、半導体製造装置1を構成する部品の位置を特定すると、合成処理部33により、撮影画像に対し、特定された部品の位置に部品情報を合成させた合成画像を生成し、画像表示部34によって合成画像を表示する。一方、情報処理装置2は、部品情報記憶部2Aを参照して、抽出処理部21により部品情報を抽出し、管理者端末3に対して部品情報を送信する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)