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1. (WO2018221067) EXHAUST GAS DECOMPRESSION DETOXIFICATION METHOD AND DEVICE THEREFOR
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Pub. No.: WO/2018/221067 International Application No.: PCT/JP2018/016293
Publication Date: 06.12.2018 International Filing Date: 20.04.2018
IPC:
B01D 53/74 (2006.01) ,B01D 53/46 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01) ,H05H 1/30 (2006.01) ,H05H 1/32 (2006.01)
[IPC code unknown for B01D 53/74][IPC code unknown for B01D 53/46][IPC code unknown for H01L 21/31][IPC code unknown for H05H 1/30][IPC code unknown for H05H 1/32]
Applicants:
カンケンテクノ株式会社 KANKEN TECHNO CO., LTD. [JP/JP]; 京都府長岡京市神足太田30-2 30-2, Kotari Ota, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6170833, JP (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, JO, JP, KE, KG, KH, KM, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW)
北京康肯▲環▼保▲設▼▲備▼有限公司 BEIJING KANKEN ENVIRONMENTAL PROTECTION EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; 北京市朝陽区東四環中路41号 嘉泰国際大厦A-630 Rm No. A-630, Jia Tai International Bldg., No. 41 East Fourth Ring Middle Road, Chaoyang District, Beijing, 100052, CN (CN)
Inventors:
柳澤 道彦 YANAGISAWA Michihiko; JP
塚田 勉 TSUKADA Tsutomu; JP
今村 啓志 IMAMURA Hiroshi; JP
Agent:
森 義明 MORI Yoshiaki; JP
市川 真樹 ICHIKAWA Masaki; JP
Priority Data:
2017-10571229.05.2017JP
Title (EN) EXHAUST GAS DECOMPRESSION DETOXIFICATION METHOD AND DEVICE THEREFOR
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTOXICATION PAR DÉCOMPRESSION DE GAZ D'ÉCHAPPEMENT ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
(JA) 排ガスの減圧除害方法及びその装置
Abstract:
(EN) The present invention provides an exhaust gas detoxification method and a device therefor that can minimize the use of a nitrogen gas for dilution and have superior energy usage efficiency. Namely, the present invention is an exhaust gas decompression detoxification method and a device therefor that are characterized in that an exhaust gas that is supplied by a production source via a vacuum pump is kept in a decompressed state and is subjected to decomposition processing with the heat of a high-temperature plasma.
(FR) La présente invention concerne un procédé de détoxication d'un gaz d'échappement et un dispositif associé, pouvant réduire au minimum l'utilisation d'azote gazeux pour la dilution et présentant une efficacité supérieure d'utilisation d'énergie. Plus précisément, la présente invention concerne un procédé de détoxication par décompression d'un gaz d'échappement et un dispositif associé, caractérisés en ce qu'un gaz d'échappement, alimenté par une source de production par l'intermédiaire d'une pompe à vide, est maintenu dans un état décompressé et soumis à un traitement de décomposition à l'aide de la chaleur d'un plasma à haute température.
(JA) 本発明は、希釈用の窒素ガスの使用を極小化でき、エネルギーの利用効率に優れた排ガスの除害方法とその装置とを提供する。すなわち、本発明は、真空ポンプを介して発生源より供給される排ガスを、減圧状態に保ち高温プラズマの熱で分解処理することを特徴とする排ガスの減圧除害方法及びその装置である。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)