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1. (WO2018219651) MEMS GAS SENSOR
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Pub. No.: WO/2018/219651 International Application No.: PCT/EP2018/062765
Publication Date: 06.12.2018 International Filing Date: 16.05.2018
IPC:
G01N 27/12 (2006.01)
[IPC code unknown for G01N 27/12]
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
SCHUERMANN, Gregor; DE
Priority Data:
10 2017 209 269.601.06.2017DE
Title (EN) MEMS GAS SENSOR
(FR) CAPTEUR DE GAZ MEMS
(DE) MEMS-GASSENSOR
Abstract:
(EN) A MEMS media sensor, in particular a MEMS gas sensor, comprising at least two electrodes which are electrically isolated from each other by means of a support layer, wherein a media-sensitive material is applied to the support layer to electrically connect the two electrodes, wherein a surface region for applying the media-sensitive material to the support layer has a topography which is adapted to the particle size of particles of the media-sensitive material.
(FR) L'invention concerne un capteur de milieu MEMS, en particulier un capteur de gaz MEMS, comprenant au moins deux électrodes qui sont disposées de manière électriquement séparée l'une de l'autre au moyen d'une couche support, une matière sensible au milieu étant appliquée sur la couche support pour la connexion électrique des deux électrodes. Une zone de surface destinée à l’application de la matière sensible au milieu sur la couche support présente une topographie qui est adaptée à une taille de particules de la matière sensible au milieu.
(DE) Ein MEMS-Mediensensor, insbesondere MEMS-Gassensor, umfassend zumindest zwei Elektroden, die mittels einer Trägerschicht elektrisch getrennt voneinander angeordnet sind, wobei auf der Trägerschicht ein medien-sensitives Material zur elektrischen Verbindung der beiden Elektroden aufgebracht ist, wobei ein Oberflächenbereich zum Aufbringen des medien-sensitiven Materials auf der Trägerschicht eine Topographie aufweist, welche an eine Partikelgröße von Partikeln des medien-sensitiven Materials angepasst ist.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)