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1. (WO2018219232) SPIN COATING DEVICE AND METHOD
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Pub. No.: WO/2018/219232 International Application No.: PCT/CN2018/088498
Publication Date: 06.12.2018 International Filing Date: 25.05.2018
IPC:
H01L 21/683 (2006.01) ,H01L 33/00 (2010.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67
Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
683
for supporting or gripping
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
33
Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
Applicants:
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventors:
卢士良 LU, Shiliang; CN
冉航 RAN, Hang; CN
李义辉 LI, Yihui; CN
晏小平 YAN, Xiaoping; CN
赵俊 ZHAO, Jun; CN
陈珊珊 CHEN, Shanshan; CN
Agent:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 长宁区天山西路789号1幢341室 Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Priority Data:
201710399778.831.05.2017CN
Title (EN) SPIN COATING DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT PAR CENTRIFUGATION
(ZH) 旋转涂胶装置和方法
Abstract:
(EN) A spin coating device and method. The spin coating device comprises a rotary shaft (3) which is rotatable itself, and a sucker (2) fixed on an end portion of the rotary shaft (3), an electromagnetic induction device being provided below the sucker (2). The electromagnetic induction device comprises an annular magnet (4) fixed below the sucker (2), a coil group formed by a first coil (5) and a second coil (6), and a strip-shaped magnet (7) fixed at the rotary shaft (3). A base (1) on the sucker (2) has a notch, and thus the unbalanced centrifugal force during rotation of the sucker (2) causes the vibration of the sucker (2), the electromagnetic induction device enables the centrifugal force generated during rotation of the sucker (2) to be in balance with the magnetic force generated by the electromagnetic induction device so as to adjust the levelness of the sucker (2) surface. The present device does not need manual manipulation, and has the advantages of enabling the sucker to be more stable, reducing damage to the equipment due to vibration, and improving the effect of photoresist spin-coating while saving time and labor.
(FR) L'invention concerne un dispositif et un procédé de revêtement par centrifugation. Le dispositif de revêtement par centrifugation comprend un arbre rotatif (3) qui peut tourner lui-même, et une ventouse (2) fixée sur une partie d'extrémité de l'arbre rotatif (3), un dispositif d'induction électromagnétique étant disposé au-dessous de la ventouse (2). Le dispositif d'induction électromagnétique comprend un aimant annulaire (4) fixé sous la ventouse (2), un groupe de bobines formé par une première bobine (5) et une seconde bobine (6), et un aimant en forme de bande (7) fixé sur l'arbre rotatif (3). Une base (1) sur la ventouse (2) a une encoche, et ainsi la force centrifuge non équilibrée pendant la rotation de la ventouse (2) provoque la vibration de la ventouse (2), le dispositif d'induction électromagnétique permet à la force centrifuge générée pendant la rotation de la ventouse (2) d'être en équilibre avec la force magnétique générée par le dispositif d'induction électromagnétique de façon à ajuster la planéité de la surface de ventouse (2). Le présent dispositif ne nécessite pas de manipulation manuelle, et présente les avantages de permettre à la ventouse d'être plus stable, de réduire les dommages causés à l'équipement dû à des vibrations, et d'améliorer l'effet du revêtement centrifuge de photorésine tout en économisant du temps et de la main d’œuvre.
(ZH) 一种旋转涂胶装置和方法。旋转涂胶装置包括一自身可旋转的转轴(3)和一固定在转轴(3)端部的吸盘(2),吸盘(2)下方设置有电磁感应装置。电磁感应装置包括固定在吸盘(2)下方的环形磁铁(4)、第一线圈(5)和第二线圈(6)构成的线圈组以及固定在转轴(3)处的条形磁铁(7)。由于吸盘(2)上的基底(1)具有缺口,吸盘(2)旋转时不平衡的离心力导致吸盘(2)振动,电磁感应装置使得吸盘(2)在旋转时产生的离心力与电磁感应装置产生的磁力相互平衡以调整吸盘(2)盘面的水平度。本装置无需人力操控,具有使吸盘更加平稳、减少振动对设备损伤、提高旋涂光刻胶效果的同时且省时省力的优点。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)