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1. (WO2018218724) REACTION CHAMBER AND METHOD FOR DETECTING STATE OF PROCESSED WORKPIECE IN REACTION CHAMBER
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Pub. No.: WO/2018/218724 International Application No.: PCT/CN2017/090797
Publication Date: 06.12.2018 International Filing Date: 29.06.2017
IPC:
G01B 11/30 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
[IPC code unknown for G01B 11/30][IPC code unknown for H01L 21/66]
Applicants:
北京北方华创微电子装备有限公司 BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 北京经济技术开发区文昌大道8号 No. 8 Wenchang Avenue Beijing Economic-Technological Development Area Beijing 100176, CN
Inventors:
肖德志 XIAO, Dezhi; CN
琚里 JU, Li; CN
Agent:
北京天昊联合知识产权代理有限公司 TEE & HOWE INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; 中国北京市 东城区建国门内大街28号民生金融中心D座10层张天舒 Tianshu ZHANG 10th Floor, Tower D, Minsheng Financial Center, 28 Jianguomennei Avenue, Dongcheng District Beijing 100005, CN
Priority Data:
201710403997.901.06.2017CN
Title (EN) REACTION CHAMBER AND METHOD FOR DETECTING STATE OF PROCESSED WORKPIECE IN REACTION CHAMBER
(FR) CHAMBRE DE RÉACTION ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE L'ÉTAT D'UNE PIÈCE TRAITÉE DANS LA CHAMBRE DE RÉACTION
(ZH) 反应腔室及检测反应腔室内被加工工件状态的方法
Abstract:
(EN) A reaction chamber, a chuck (23) used for bearing a processed workpiece (22) being arranged therein, the reaction chamber also comprising a speckle interference apparatus used for detecting the state of the surface of the processed workpiece (22); the speckle interference apparatus comprises a light source (29), an optical-electrical converter (34), and a processor (35); the optical signal outputted by the light source (29) is divided into an object light and a reference light; the object light is transmitted to the surface of the processed workpiece and, after being reflected, is conveyed to the optical-electrical converter (34), and the reference light is not reflected by the surface of the processed workpiece (22) but is directly transmitted to the optical-electrical converter (34); the optical-electrical converter (34) is used for converting the received object light and reference light optical signals into electrical signals and sending same to the processor (35); and the processor (35) is used for acquiring a speckle interference fringe on the basis of the electrical signals in order to determine the state of the processed workpiece (22) on the basis of the speckle interference fringe, and thereby increase the accuracy of detecting the state of the processed workpiece (22).
(FR) La présente invention concerne une chambre de réaction, un mandrin (23) utilisé pour supporter une pièce traitée (22) étant disposé à l'intérieur de celle-ci, la chambre de réaction comprenant également un appareil d'interférence de granularité utilisé pour détecter l'état de la surface de la pièce traitée (22) ; l'appareil d'interférence de granularité comprend une source de lumière (29), un convertisseur optique-électrique (34) et un processeur (35) ; le signal optique émis par la source de lumière (29) est divisé en une lumière d'objet et une lumière de référence ; la lumière d'objet est transmise à la surface de la pièce traitée et, après avoir été réfléchie, est transmise au convertisseur optique-électrique (34), et la lumière de référence n'est pas réfléchie par la surface de la pièce traitée (22) mais est directement transmise au convertisseur optique-électrique (34) ; le convertisseur optique-électrique (34) est utilisé pour convertir les signaux optiques reçus de la lumière d'objet et de la lumière de référence en signaux électriques et les envoyer au processeur (35) ; et le processeur (35) est utilisé pour acquérir une frange d'interférence de granularité sur la base des signaux électriques afin de déterminer l'état de la pièce traitée (22) sur la base de la frange d'interférence de granularité et ainsi augmenter la précision de détection de l'état de la pièce traitée (22).
(ZH) 一种反应腔室,在其内设置有用于承载被加工工件(22)的卡盘(23),反应腔室还包括用于检测被加工工件(22)表面状态的散斑干涉检测装置;散斑干涉检测装置包括光源(29)、光电转换器(34)和处理器(35);光源(29)输出的光信号分为物光和参考光;物光发射至被加工工件(22)的表面并经反射后被传送至光电转换器(34),参考光不经被加工工件(22)的表面的反射而直接发射至光电转换器(34);光电转换器(34)用于将接收到的物光和参考光的光信号转换为电信号并发送至处理器(35);处理器(35)用于基于电信号获得散斑干涉条纹,以根据散斑干涉条纹判断被加工工件(22)的状态,从而可以提高被加工工件(22)状态检测的准确度。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)