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1. (WO2018203370) TARGET SUPPLY DEVICE, EXTREME UV LIGHT GENERATOR, AND TARGET SUPPLY METHOD
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Pub. No.: WO/2018/203370 International Application No.: PCT/JP2017/017160
Publication Date: 08.11.2018 International Filing Date: 01.05.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H05G 2/00 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20
Exposure; Apparatus therefor
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
G
X-RAY TECHNIQUE
2
Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
Applicants:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventors:
高島 悠太 TAKASHIMA, Yuta; JP
植野 能史 UENO, Yoshifumi; JP
Agent:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
Priority Data:
Title (EN) TARGET SUPPLY DEVICE, EXTREME UV LIGHT GENERATOR, AND TARGET SUPPLY METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION CIBLE, GÉNÉRATEUR DE LUMIÈRE UV EXTRÊME ET PROCÉDÉ D'ALIMENTATION CIBLE
(JA) ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、及びターゲット供給方法
Abstract:
(EN) A target supply device according to one aspect of the present disclosure comprising a vibration element that applies vibration to a target substance outputted from a nozzle 80 so that droplets are formed, a droplet detection unit that detects the droplets, and a control unit 70. A first detection threshold value and a second detection threshold value, which are compared with a detection signal from the droplet detection unit, are set in the control unit 70. The first detection threshold value is used for generating a light emission trigger for a laser light. The second detection threshold value has a smaller absolute value, in relation to the base line of the detection signal, than the first detection threshold value. The control unit 70 calculates, on the basis of the detection signal and the second detection threshold value, an evaluation parameter relating to a satellite, and determines, on the basis of the evaluation parameter, the duty value of an electrical signal suited to the operation of the vibration element.
(FR) Selon un aspect de la présente invention, un dispositif d'alimentation cible comprend un élément de vibration qui applique une vibration à une substance cible émise par une buse (80) de telle sorte que des gouttelettes soient formées, une unité de détection de gouttelettes qui détecte les gouttelettes, et une unité de commande (70). Une première valeur de seuil de détection et une seconde valeur de seuil de détection, qui sont comparées à un signal de détection provenant de l'unité de détection de gouttelettes, sont réglées dans l'unité de commande (70). La première valeur de seuil de détection est utilisée pour générer un déclencheur d'émission de lumière destiné à une lumière laser. La seconde valeur de seuil de détection a une valeur absolue plus petite, par rapport à la ligne de base du signal de détection, que la première valeur de seuil de détection. L'unité de commande (70) calcule, sur la base du signal de détection et de la seconde valeur de seuil de détection, un paramètre d'évaluation relatif à un satellite, et détermine, sur la base du paramètre d'évaluation, la valeur de service d'un signal électrique approprié au fonctionnement de l'élément de vibration.
(JA) 本開示の一観点に係るターゲット供給装置は、ノズル80から出力されるターゲット物質に振動を与えてドロップレットを発生させる加振素子と、ドロップレットを検出するドロップレット検出部と、制御部70とを備える。制御部70には、ドロップレット検出部からの検出信号と比較される第1の検出閾値及び第2の検出閾値が設定される。第1の検出閾値は、レーザ光の発光トリガの生成に用いられる。第2の検出閾値は、第1の検出閾値よりも検出信号のベースラインからの絶対値が小さい。制御部70は、検出信号と第2の検出閾値とに基づいて、サテライトに関する評価パラメータを算出し、評価パラメータに基づき、加振素子の動作に適した電気信号のデューティ値を決定する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)