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1. (WO2018198627) MAGNETIC FIELD SENSOR
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Pub. No.: WO/2018/198627 International Application No.: PCT/JP2018/011971
Publication Date: 01.11.2018 International Filing Date: 26.03.2018
IPC:
G01R 33/02 (2006.01) ,G01R 33/09 (2006.01) ,H01L 43/08 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06
using galvano-magnetic devices
09
Magneto-resistive devices
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
43
Devices using galvano-magnetic or similar magnetic effects; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof
08
Magnetic-field-controlled resistors
Applicants:
TDK株式会社 TDK CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区芝浦三丁目9番1号 3-9-1, Shibaura, Minato-ku Tokyo 1080023, JP
Inventors:
田邊 圭 TANABE Kei; JP
Agent:
鷲頭 光宏 WASHIZU Mitsuhiro; JP
緒方 和文 OGATA Kazufumi; JP
黒瀬 泰之 KUROSE Yasuyuki; JP
Priority Data:
2017-08939128.04.2017JP
Title (EN) MAGNETIC FIELD SENSOR
(FR) CAPTEUR DE CHAMP MAGNÉTIQUE
(JA) 磁界センサ
Abstract:
(EN) [Problem] To provide a magnetic field sensor capable of detecting magnetism over a wide range, with a more compact sensor chip being used. [Solution] The present invention comprises a plurality of unit magnetism sensors 10 arranged in an x direction, the plurality of unit magnetism sensors 10 each comprising: a sensor chip 30 that includes an element formation surface on which a magnetism detection element is formed; and a magnetic body 40 that is disposed on the element formation surface and that collects a magnetic flux in the magnetism detection element. The x-direction length of the magnetic body 40 is longer than the x-direction length of the sensor chip 30. According to the present invention, the plurality of unit magnetism sensors 10 are aligned, each comprising the magnetic body 40 which is longer than the sensor chip 30; therefore, the size of the sensor chip 30 can be reduced. Due to this configuration, more sensor chips 30 can be produced from a single aggregate substrate, thereby greatly reducing the component cost.
(FR) La présente invention aborde le problème de la réalisation d'un capteur de champ magnétique capable de détecter un magnétisme sur une large plage, une puce de capteur plus compacte étant utilisée. La solution selon la présente invention porte sur une pluralité de capteurs de magnétisme (10) unitaires disposés dans une direction x, la pluralité de capteurs de magnétisme (10) unitaires comprenant chacun : une puce de capteur (30) qui comprend une surface de formation d'élément sur laquelle est formé un élément de détection de magnétisme ; et un corps magnétique (40) qui est disposé sur la surface de formation d'élément et qui collecte un flux magnétique dans l'élément de détection de magnétisme. La longueur dans la direction x du corps magnétique (40) est plus grande que la longueur dans la direction x de la puce de capteur (30). Selon la présente invention, la pluralité de capteurs de magnétisme (10) unitaires sont alignés, chacun comprenant le corps magnétique (40) qui est plus long que la puce de capteur (30). Par conséquent, la taille de la puce de capteur (30) peut être réduite. Cette configuration permet de produire un plus grand nombre de puces de capteur (30) à partir d'un seul substrat d'agrégat, ce qui permet de réduire considérablement le coût des composants.
(JA) 【課題】より小型のセンサチップを用いつつ、磁気を広範囲に検出可能な磁気センサを提供する。 【解決手段】x方向に配列された複数の単位磁気センサ10を備え、複数の単位磁気センサ10のそれぞれは、磁気検出素子が形成された素子形成面を有するセンサチップ30と、素子形成面上に配置され、磁束を磁気検出素子に集める磁性体40とを含む。磁性体40のx方向における長さは、センサチップ30のx方向における長さよりも長い。本発明によれば、センサチップ30よりも長い磁性体40を備えた単位磁気センサ10が複数配列された構成を有していることから、センサチップ30のサイズを小型化することができる。このため、1つの集合基板からより多くのセンサチップ30を作製することができ、部品コストを大幅に削減することが可能となる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)