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1. (WO2018198330) CAPACITOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
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Pub. No.: WO/2018/198330 International Application No.: PCT/JP2017/016977
Publication Date: 01.11.2018 International Filing Date: 28.04.2017
IPC:
H01L 21/822 (2006.01) ,H01L 27/04 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
70
Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in or on a common substrate or of specific parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of specific parts thereof
77
Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
78
with subsequent division of the substrate into plural individual devices
82
to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
822
the substrate being a semiconductor, using silicon technology
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
27
Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
02
including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
04
the substrate being a semiconductor body
Applicants:
ゼンテルジャパン株式会社 ZENTEL JAPAN CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区新橋六丁目21番3号 21-3, Shimbashi 6-chome, Minato-ku, Tokyo 1050004, JP
Inventors:
原口 大 HARAGUCHI, Masaru; JP
藤石 義隆 FUJIISHI, Yoshitaka; JP
Agent:
鮫島 睦 SAMEJIMA, Mutsumi; JP
川端 純市 KAWABATA, Junichi; JP
Priority Data:
Title (EN) CAPACITOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) DISPOSITIF DE CONDENSATEUR ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) キャパシタ装置とその製造方法
Abstract:
(EN) In the present invention, lower electrodes (101, 102) are disposed at a period d1 in an X direction and at a period d2 in a Y direction. Upper electrodes (102) are disposed so as to be shifted by half the length of the period (d1) in the X direction with respect to the lower electrodes (101), and are disposed so as to be shifted by half the length of the period (d2) in the Y direction with respect to the lower electrodes (101). Each pair of a lower electrode (101) and an upper electrode (102), which face each other and capacitively couple with each other, form a capacitor cell (C). Cell terminals (103, 104) are disposed at the period (d1) in the X direction, disposed at the period (d2) in the Y direction, and respectively electrically connected to the lower electrodes (101) and the upper electrodes (102). The cell terminals (104) are disposed so as to be shifted by half the length of the period (d1) in the X direction with respect to the cell terminals (103), and are disposed so as to be shifted by half the length of the period (d2) in the Y direction with respect to the cell terminals (103).
(FR) Dans la présente invention, des électrodes inférieures (101, 102) sont disposées à une période d1 dans une direction X et à une période d2 dans une direction Y. Des électrodes supérieures (102) sont disposées de manière à être décalées de la moitié de la longueur de la période (d1) dans la direction X par rapport aux électrodes inférieures (101), et sont disposées de manière à être décalées de la moitié de la longueur de la période (d2) dans la direction Y par rapport aux électrodes inférieures (101). Chaque paire d'une électrode inférieure (101) et d'une électrode supérieure (102), qui se font face et se couplent de manière capacitive l'une à l'autre, forment une cellule de condensateur (C). Des bornes de cellule (103, 104) sont disposées à la période (d1) dans la direction X, sont disposées à la période (d2) dans la direction Y, et sont respectivement connectées électriquement aux électrodes inférieures (101) et aux électrodes supérieures (102). Les bornes de cellule (104) sont disposées de manière à être décalées de la moitié de la longueur de la période (d1) dans la direction X par rapport aux bornes de cellule (103), et sont disposées de manière à être décalées de la moitié de la longueur de la période (d2) dans la direction Y par rapport aux bornes de cellule (103).
(JA) 各下側電極(101,102)は、X方向に周期d1で配置され、Y方向に周期d2で配置される。各上側電極(102)は、各下側電極(101)に対して、X方向に周期(d1)の長さの半分だけずらして配置され、Y方向に周期(d2)の長さの半分だけずらして配置される。互いに対向して容量的に結合する各一対の下側電極(101)及び上側電極(102)はキャパシタセル(C)を形成する。各セル端子(103,104)は、X方向に周期(d1)で配置され、Y方向に周期(d2)で配置され、各下側電極(101)及び各上側電極(102)にそれぞれ電気的に接続される。各セル端子(104)は、各セル端子(103)に対して、X方向に周期(d1)の長さの半分だけずらして配置され、Y方向に周期(d2)の長さの半分だけずらして配置される。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)