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1. (WO2018193528) GAS LASER DEVICE AND MAGNETIC BEARING CONTROL METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/2018/193528 International Application No.: PCT/JP2017/015630
Publication Date: 25.10.2018 International Filing Date: 18.04.2017
IPC:
H01S 3/036 (2006.01) ,F16C 32/04 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
S
DEVICES USING STIMULATED EMISSION
3
Lasers, i.e. devices for generation, amplification, modulation, demodulation, or frequency-changing, using stimulated emission, of infra-red, visible, or ultra-violet waves
02
Constructional details
03
of gas laser discharge tubes
036
Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering or replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
F MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16
ENGINEERING ELEMENTS OR UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
C
SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; MECHANICAL MEANS FOR TRANSMITTING MOVEMENT IN A FLEXIBLE SHEATHING; ELEMENTS OF CRANKSHAFT MECHANISMS; PIVOTS; PIVOTAL CONNECTIONS; ROTARY ENGINEERING ELEMENTS OTHER THAN GEARING, COUPLING, CLUTCH OR BRAKE ELEMENTS; BEARINGS
32
Bearings not otherwise provided for
04
using magnetic or electric supporting means
Applicants:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventors:
三木 正晴 MIKI, Masaharu; JP
若林 理 WAKABAYASHI, Osamu; JP
Agent:
保坂 延寿 HOSAKA, Nobuhisa; 東京都千代田区神田佐久間町3‐22 神田SKビル4階 新井・橋本・保坂国際特許事務所 Arai, Hashimoto, Hosaka & Associates, Kanda SK Bldg. 4F, 3-22, Kanda Sakuma-cho, Chiyoda-ku, Tokyo 1010025, JP
Priority Data:
Title (EN) GAS LASER DEVICE AND MAGNETIC BEARING CONTROL METHOD
(FR) DISPOSITIF DE LASER À GAZ ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE PALIER MAGNÉTIQUE
(JA) ガスレーザ装置及び磁気軸受制御方法
Abstract:
(EN) This gas laser device is equipped with: a magnetic bearing containing an electromagnet, for which the magnetic force can be controlled, that supports the rotary shaft of a laser gas circulation fan so as to be rotatable in a magnetically levitated state due to the magnetic force; an electromagnet control unit controlling the magnetic force of the electromagnet on the basis of the displacement in the levitating position of the rotary shaft to adjust the levitating position; a motor generating the torque for causing the fan to rotate; a magnetic coupling for connecting the rotary shaft and the drive shaft of the motor by a magnetic attractive force to transmit the motor torque to the rotary shaft; an attractive force estimation sensor for detecting a parameter that allows the magnetic coupling attractive force to be estimated; an attractive force measurement unit for measuring the magnetic coupling attractive force on the basis of the parameter detected by the attractive force estimation sensor; and a correction unit for correcting the magnetic force of the electromagnet depending on the variation of the attractive force measured by the attractive force measurement unit.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de laser à gaz qui est équipé : d'un palier magnétique contenant un électroaimant, dont la force magnétique peut être commandée, qui soutient l'arbre rotatif d'un ventilateur de circulation de gaz laser de manière à pouvoir tourner dans un état de lévitation magnétique provoqué par la force magnétique ; d'une unité de commande d'électroaimant commandant la force magnétique de l'électroaimant sur la base du déplacement de l'arbre rotatif dans la position de lévitation afin d'adapter la position de lévitation ; d'un moteur produisant le couple permettant d'amener le ventilateur à tourner ; d'un accouplement magnétique permettant de lier l'arbre rotatif et l'arbre de commande du moteur par une force d'attraction magnétique afin de transmettre le couple de moteur à l'arbre rotatif ; d'un capteur d'estimation de force d'attraction permettant de détecter un paramètre qui permet d'estimer la force d'attraction d'accouplement magnétique ; d'une unité de mesure de force d'attraction permettant de mesurer la force d'attraction d'accouplement magnétique sur la base du paramètre détecté par le capteur d'estimation de force d'attraction ; et d'une unité de correction permettant de corriger la force magnétique de l'électroaimant en fonction de la variation de la force d'attraction mesurée par l'unité de mesure de force d'attraction.
(JA) ガスレーザ装置は、以下を備える:磁力を制御可能な電磁石を含み、レーザガスを流すファンの回転軸を磁力によって磁気浮上させた状態で回転自在に支持する磁気軸受;回転軸の浮上位置の変位に基づいて電磁石の磁力を制御して、浮上位置を調節する電磁石制御部;ファンを回転させるトルクを発生するモータ;回転軸とモータの駆動軸とを磁気による吸引力で結合して、回転軸にモータのトルクを伝達する磁気カップリング;磁気カップリングの吸引力を推定可能なパラメータを検出する吸引力推定用センサ;吸引力推定用センサによって検出されたパラメータに基づいて、磁気カップリングの吸引力を計測する吸引力計測部;及び吸引力計測部によって計測された吸引力の変動に応じて、電磁石の磁力を補正する補正部。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)