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1. (WO2018185833) INFORMATION PROCESSING DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/185833 International Application No.: PCT/JP2017/014088
Publication Date: 11.10.2018 International Filing Date: 04.04.2017
IPC:
H05H 1/00 (2006.01) ,H05H 1/24 (2006.01)
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H
PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1
Generating plasma; Handling plasma
H ELECTRICITY
05
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
H
PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY- CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
1
Generating plasma; Handling plasma
24
Generating plasma
Applicants: FUJI CORPORATION[JP/JP]; 19 Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686, JP
Inventors: JINDO, Takahiro; JP
TAKIKAWA, Shinji; JP
NIWA, Akihiro; JP
Agent: NEXT INTERNATIONAL; 7th Floor, Daiei Building, 11-20, Nishiki 1-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
FUKATSU, Yasutaka; JP
KATAOKA, Tomoki; JP
Priority Data:
Title (EN) INFORMATION PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'INFORMATIONS
(JA) 情報処理装置
Abstract:
(EN) This information processing device is equipped with a control device comprising: an acquisition unit which successively acquires indicator values which indicate the current or voltage supplied to a plurality of electrodes of a plasma-generating device which generates plasma by discharge between a plurality of electrodes; a calculation unit which calculates a variation value which is a numerical value pertaining to change in indicator values, on the basis of the indicator values acquired by the acquisition unit; a recording unit which stores, as characteristic variation values, the variation values calculated by the calculation unit at predetermined timing; a first determination unit which determines, on the basis of the variation value and the characteristics variation value, whether the power supply status when the variation value is calculated is the power supply status at the predetermined timing, each time the variation value is calculated by the calculation unit; and a having a notification unit which communicates predetermined information if the power supply status when the variation value is calculated by the first determination unit is deemed to be the power supply status at the predetermined timing.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de traitement d'informations équipé d'un dispositif de commande comprenant : une unité d'acquisition qui acquiert successivement des valeurs d'indicateur qui indiquent le courant ou la tension fourni à une pluralité d'électrodes d'un dispositif de génération de plasma qui génère un plasma par décharge entre une pluralité d'électrodes ; une unité de calcul qui calcule une valeur de variation qui est une valeur numérique concernant un changement de valeurs d'indicateur, sur la base des valeurs d'indicateur acquises par l'unité d'acquisition ; une unité d'enregistrement qui stocke, sous forme de valeurs de variation de caractéristique, les valeurs de variation calculées par l'unité de calcul à un moment prédéterminé ; une première unité de détermination qui détermine, sur la base de la valeur de variation et de la valeur de variation de caractéristiques, si l'état d'alimentation électrique lorsque la valeur de variation est calculée est l'état d'alimentation électrique au moment prédéterminé, chaque fois que la valeur de variation est calculée par l'unité de calcul ; et une unité de notification qui communique des informations prédéterminées si l'état d'alimentation électrique lorsque la valeur de variation est calculée par la première unité de détermination est considérée comme étant l'état d'alimentation électrique au moment prédéterminé.
(JA) 複数の電極間での放電によりプラズマを発生させるプラズマ発生装置の前記複数の電極に供給される電流又は電圧を指標する指標値を継時的に取得する取得部と、前記取得部により取得された前記指標値に基づいて、前記指標値の変化に関する数値である変化値を演算する演算部と、所定のタイミングにおいて前記演算部により演算された前記変化値を、特定変化値として記憶する記憶部と、前記演算部により前記変化値が演算される毎に、当該変化値の演算時の電力供給状態が、前記所定のタイミングにおける電力供給状態になっているか否かを、当該変化値と前記特定変化値とに基づいて判断する第1判断部と、前記第1判断部により前記変化値の演算時の電力供給状態が、前記所定のタイミングにおける電力供給状態になっていると判断された場合に、所定の情報を報知する報知部とを有する制御装置を備える情報処理装置。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)