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1. (WO2018185499) SCANNING PROBE SYSTEM WHICH CONTROLS THE TILT ANGLE OF THE PROBE TIP
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Pub. No.: WO/2018/185499 International Application No.: PCT/GB2018/050933
Publication Date: 11.10.2018 International Filing Date: 06.04.2018
IPC:
G01Q 10/06 (2010.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
10
Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
04
Fine scanning or positioning
06
Circuits or algorithms therefor
Applicants:
INFINITESIMA LIMITED [GB/GB]; 1 Hitching Court Blacklands Way Abingdon Oxfordshire OX14 1RG, GB
Inventors:
HUMPHRIS, Andrew; GB
Agent:
RIBEIRO, James Michael; GB
Priority Data:
1705613.607.04.2017GB
Title (EN) SCANNING PROBE SYSTEM WHICH CONTROLS THE TILT ANGLE OF THE PROBE TIP
(FR) SYSTÈME DE SONDE DE BALAYAGE QUI COMMANDE L'ANGLE D'INCLINAISON DE LA POINTE DE SONDE
Abstract:
(EN) A method of scanning a feature with a probe, the probe comprising a cantilever mount, a cantilever extending from the cantilever mount to a free end, and a probe tip carried by the free end of the cantilever. An orientation of the probe is measured relative to a reference surface to generate a probe orientation measurement. The reference surface defines a reference surface axis which is normal to the reference surface and the probe tip has a reference tilt angle relative to the reference surface axis. A shape of the cantilever is changed in accordance with the probe orientation measurement so that the probe tip moves relative to the cantilever mount and the reference tilt angle decreases from a first reference tilt angle to a second reference tilt angle. A sample surface is scanned with the probe, wherein the sample surface defines a sample surface axis which is normal to the sample surface and the probe tip has a scanning tilt angle relative to the sample surface axis. During the scanning of the sample surface the cantilever mount is moved so that the probe tip is inserted into a feature in the sample surface with the scanning tilt angle below the first reference tilt angle.
(FR) L'invention concerne un procédé de balayage d'une caractéristique à l'aide d'une sonde, la sonde comprenant un support en porte-à-faux, un porte-à-faux s'étendant du support en porte-à-faux à une extrémité libre et une pointe de sonde, portée par l'extrémité libre du porte-à-faux. Une orientation de la sonde est mesurée par rapport à une surface de référence afin d'obtenir une mesure d'orientation de sonde. La surface de référence définit un axe de surface de référence, qui est perpendiculaire à la surface de référence, et la pointe de sonde a un angle d'inclinaison de référence par rapport à l'axe de surface de référence. Une forme du porte-à-faux est modifiée en fonction de la mesure d'orientation de sonde, de sorte que la pointe de sonde se déplace par rapport au support en porte-à-faux et que l'angle d'inclinaison de référence diminue d'un premier angle d'inclinaison de référence à un second angle d'inclinaison de référence. Une surface d'échantillon est balayée par la sonde, la surface d'échantillon définissant un axe de surface d'échantillon, qui est normal à la surface d'échantillon, et la pointe de sonde a un angle d'inclinaison de balayage par rapport à l'axe de surface d'échantillon. Pendant le balayage de la surface d'échantillon, le support en porte-à-faux est déplacé de sorte que la pointe de sonde soit insérée dans un élément de la surface d'échantillon alors que l'angle d'inclinaison de balayage est au-dessous du premier angle d'inclinaison de référence.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)