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1. (WO2018184565) PREMODULATED MAGNETORESISTIVE SENSOR
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Pub. No.: WO/2018/184565 International Application No.: PCT/CN2018/081914
Publication Date: 11.10.2018 International Filing Date: 04.04.2018
IPC:
G01R 33/09 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33
Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02
Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
06
using galvano-magnetic devices
09
Magneto-resistive devices
Applicants:
江苏多维科技有限公司 MULTIDIMENSION TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; 中国江苏省张家港市 保税区广东路7号 No. 7 Guangdong Road, Free Trade Zone Zhangjiagang, Jiangsu 215634, CN
Inventors:
迪克詹姆斯•G DEAK, James Geza; CN
周志敏 ZHOU, Zhimin; CN
Agent:
上海隆天律师事务所 SHANGHAI LUNGTIN LAW FIRM; 中国上海市 徐汇区漕溪北路333号中金国际广场B座1505室 Room 1505, Building B, Zhongjin International Plaza No. 333 North Caoxi Road, Xuhui District Shanghai 200030, CN
Priority Data:
201710217942.905.04.2017CN
Title (EN) PREMODULATED MAGNETORESISTIVE SENSOR
(FR) CAPTEUR MAGNÉTO-RÉSISTIF PRÉ-MODULÉ
(ZH) 一种预调制磁电阻传感器
Abstract:
(EN) A premodulated magnetoresistive sensor provided with a substrate (1) on plane XY. Magnetoresistive sensing elements (3), a modulator, electrical connectors (4), an electrically insulating layer (13), and bonding solder pads (6, 7, 8, and 9) are deposited on the substrate (1). The sensing direction of the magnetoresistive sensing elements (3) is parallel to the X axis. The magnetoresistive sensing elements (3) are connected in series into a magnetoresistive sensing element string. The modulator is constituted by multiple modulator rods (2). The modulator rods (2) are constituted by a three-layered structure of an FM1 layer (21), an NM layer (22), and an FM2 layer (23). The extremities of the modulator rods (2) are electrically connected therebetween to form zig-zagging current paths. The electrically insulating layer (13) is provided between the modulator rods (2) and the magnetoresistive sensing elements (3). The electrically insulating layer (13) separates the modulator rods (2) from the magnetoresistive sensing elements (3). By modulating a current, a modulated signal is ensured to be working in a linear area of the magnetoresistive sensor; furthermore, the magnetic permeability is altered by modulating a magnetic field, thus implementing noise suppression.
(FR) La présente invention concerne un capteur magnéto-résistif pré-modulé comprenant un substrat (1) sur le plan XY. Des éléments de détection magnéto-résistifs (3), un modulateur, des connecteurs électriques (4), une couche électriquement isolante (13) et des coussinets de soudure de liaison (6, 7, 8, et 9) sont déposés sur le substrat (1). La direction de détection des éléments de détection magnéto-résistifs (3) est parallèle à l'axe des X. Les éléments de détection magnéto-résistifs (3) sont connectés en série pour former une chaîne d'éléments de détection magnéto-résistifs. Le modulateur est constitué de multiples tiges (2) de modulateur. Les tiges (2) de modulateur sont constituées d'une structure à trois couches comprenant une couche FM1 (21), une couche NM (22) et une couche FM2 (23). Les extrémités des tiges (2) de modulateur sont connectées électriquement entre elles pour former des trajets de courant en zigzag. La couche électriquement isolante (13) est disposée entre les tiges (2) de modulateur et les éléments de détection magnéto-résistifs (3). La couche électriquement isolante (13) sépare les tiges (2) de modulateur des éléments de détection magnéto-résistifs (3). En modulant un courant, un signal modulé est assuré de se trouver dans une zone linéaire du capteur magnéto-résistif; de plus, la perméabilité magnétique est modifiée en modulant un champ magnétique, mettant ainsi en œuvre une suppression du bruit.
(ZH) 一种预调制磁电阻传感器,在XY平面上设置有一衬底(1),磁电阻感应元件(3)、调制器、电连接器(4)、电绝缘层(13)和键合焊盘(6,7,8,9)均沉积在衬底(1)上,磁电阻感应元件(3)的感应方向平行于X轴,磁电阻感应元件(3)串连连接成磁电阻感应元件串,调制器由多个调制器棒(2)构成,调制器棒(2)由FM1层(21)、NM层(22)和FM2层(23)三层结构构成,调制器棒(2)的端部之间电连接形成蛇形状的电流路径,调制器棒(2)与磁电阻感应元件(3)之间设置有一层电绝缘层(13),电绝缘层(13)将调制器棒(2)与磁电阻感应元件(3)隔开。通过调制电流确保调制信号工作在磁场传感器的线性区域,进一步通过调制磁场改变磁导率,进而实现噪声的抑制。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)