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1. (WO2018183096) CARE AREAS FOR IMPROVED ELECTRON BEAM DEFECT DETECTION
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Pub. No.: WO/2018/183096 International Application No.: PCT/US2018/023910
Publication Date: 04.10.2018 International Filing Date: 23.03.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66
Testing or measuring during manufacture or treatment
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventors: ANANTHA, Vidyasagar; IN
YATI, Arpit; IN
PARAMASIVAM, Saravanan; IN
PLIHAL, Martin; US
LIN, Jincheng; CN
Agent: MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N; US
Priority Data:
15/639,31130.06.2017US
62/477,27027.03.2017US
Title (EN) CARE AREAS FOR IMPROVED ELECTRON BEAM DEFECT DETECTION
(FR) ZONES DE SOINS PERMETTANT UNE DÉTECTION DE DÉFAUT DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS AMÉLIORÉE
Abstract:
(EN) Use of care areas in scanning electron microscopes or other review tools can provide improved sensitivity and throughput. A care area is received at a controller of a scanning electron microscope from, for example, an inspector tool. The inspector tool may be a broad band plasma tool. The care area is applied to a field of view of a scanning electron microscope image to identify at least one area of interest. Defects are detected only within the area of interest using the scanning electron microscope. The care areas can be design-based or some other type of care area. Use of care areas in SEM tools can provide improved sensitivity and throughput.
(FR) L'utilisation de zones de soins dans des microscopes électroniques à balayage ou dans d'autres outils d'examen peut permettre une sensibilité et un rendement améliorés. Une zone de soins est reçue au niveau d'un contrôleur d'un microscope électronique à balayage, par exemple en provenance d'un outil d'inspection. L'outil d'inspection peut être un outil à plasma à bande large. La zone de soins est appliquée à un champ de vision d'une image du microscope électronique à balayage de façon à identifier au moins une zone d'intérêt. Des défauts ne sont détectés que dans la zone d'intérêt à l'aide du microscope électronique à balayage. Les zones de soins peuvent être basées sur la conception ou d'un autre type de zone de soins. L'utilisation de zones de soins dans des outils à MEB peut permettre une sensibilité et un rendement améliorés.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)