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1. (WO2018182710) EDGE PATTERNING FOR RESONATOR SPURIOUS MODE SUPPRESSION
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Pub. No.: WO/2018/182710 International Application No.: PCT/US2017/025489
Publication Date: 04.10.2018 International Filing Date: 31.03.2017
IPC:
H03H 9/17 (2006.01) ,H03H 9/02 (2006.01)
H ELECTRICITY
03
BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
H
IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9
Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
15
Constructional features of resonators consisting of piezo-electric or electrostrictive material
17
having a single resonator
H ELECTRICITY
03
BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
H
IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9
Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
02
Details
Applicants:
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, California 95054, US
Inventors:
LIN, Kevin; US
MOHAMMED, Edris M.; US
JUN, Kimin; US
THEN, Han Wui; US
RADOSAVLJEVIC, Marko; US
DASGUPTA, Sansaptak; US
Agent:
GUGLIELMI, David L.; US
Priority Data:
Title (EN) EDGE PATTERNING FOR RESONATOR SPURIOUS MODE SUPPRESSION
(FR) FORMATION DE MOTIF DE BORD POUR SUPPRESSION DE MODE PARASITE DE RÉSONATEUR
Abstract:
(EN) An apparatus is provided which comprises: a substrate, a piezoelectric resonator separated from a surface of the substrate by a void region, a first electrode coupled to a first surface of the piezoelectric resonator parallel to the substrate surface, and a second electrode coupled to a second surface of the piezoelectric resonator parallel to the substrate surface, wherein the first and second surfaces of the piezoelectric resonator comprise disparate widths, and wherein the piezoelectric resonator comprises a plurality of substantially orthogonal tapering steps between the first and second surfaces. Other embodiments are also disclosed and claimed.
(FR) L'invention concerne un appareil qui comprend : un substrat, un résonateur piézoélectrique séparé d'une surface du substrat par une région de vide, une première électrode connectée à une première surface du résonateur piézoélectrique parallèle à la surface du substrat, et une deuxième électrode connectée à une deuxième surface du résonateur piézoélectrique parallèle à la surface du substrat. Les première et deuxième surfaces du résonateur piézoélectrique présentent des largeurs disparates et le résonateur piézoélectrique comprend une pluralité d'étapes coniques sensiblement orthogonales entre les première et deuxième surfaces. L'invention concerne également d'autres modes de réalisation.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)