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1. (WO2018181409) CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
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Pub. No.: WO/2018/181409 International Application No.: PCT/JP2018/012609
Publication Date: 04.10.2018 International Filing Date: 27.03.2018
IPC:
H01J 37/20 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
20
Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Applicants: HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION[JP/JP]; 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
Inventors: FUJII Toshiaki; JP
TOMIMATSU Satoshi; JP
SUZUKI Hiroyuki; JP
Agent: Eikoh Patent Firm, P.C.; JP
Priority Data:
2017-06090327.03.2017JP
2018-05523122.03.2018JP
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
(FR) APPAREIL À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子ビーム装置
Abstract:
(EN) This charged particle beam apparatus is provided with: a charged particle beam lens-barrel for emitting charged particle beams onto a sample; a tilting base (64A) that has a first sample holding part capable of holding the sample and that holds the first sample holding part so as to be rotatable about an axis (S1); a tilting base (64B) that has a second sample holding part capable of holding the sample and that holds the second sample holding part so as to be rotatable about an axis (S2) parallel to the axis (S1); and a drive force supply part that supplies to the tilting bases (64A, 64B) a drive force for rotating the tilting bases (64A, 64B) in association with each other.
(FR) La présente invention concerne un appareil à faisceau de particules chargées, comprenant : un barillet à faisceau de particules chargées servant à émettre des faisceaux de particules chargées sur un échantillon ; une base d'inclinaison (64A) comportant une première partie de maintien d'échantillon apte à maintenir l'échantillon et maintenant la première partie de maintien d'échantillon pour qu'elle puisse tourner autour d'un axe (S1) ; une base d'inclinaison (64B) comportant une seconde partie de maintien d'échantillon apte à maintenir l'échantillon et maintenant la seconde partie de maintien d'échantillon pour qu'elle puisse tourner autour d'un axe (S2) parallèle à l'axe (S1) ; et une partie d'application de force d'entraînement qui applique aux bases d'inclinaison (64A, 64B) une force d'entraînement servant à tourner les bases d'inclinaison (64A, 64B) en association l'une avec l'autre.
(JA) 荷電粒子ビーム装置は、試料に荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム鏡筒と、試料を保持可能な第1の試料保持部を有し、第1の試料保持部を軸線(S1)回りに回動可能に保持する傾斜台(64A)と、試料を保持可能な第2の試料保持部を有し、第2の試料保持部を軸線(S1)と平行な軸線(S2)回りに回動可能に保持する傾斜台(64B)と、傾斜台(64A、64B)を連動して回動させる駆動力を傾斜台(64A、64B)に供給する駆動力供給部と、を備える。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)