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1. (WO2018176719) SHUTTER DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/176719 International Application No.: PCT/CN2017/096611
Publication Date: 04.10.2018 International Filing Date: 09.08.2017
IPC:
G03B 9/14 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
B
APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
9
Exposure-making shutters; Diaphragms
08
Shutters
10
Blade or disc rotating or pivoting about axis normal to its plane
14
Two separate members moving in opposite directions
Applicants:
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventors:
王彦飞 WANG, Yanfei; CN
章富平 ZHANG, Fuping; CN
贾翔 JIA, Xiang; CN
Agent:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 长宁区天山西路789号1幢341室 Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Priority Data:
201710210543.X31.03.2017CN
Title (EN) SHUTTER DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'OBTURATION
(ZH) 一种快门装置
Abstract:
(EN) A shutter device, comprising a shading motion module (1) and a motion control module (2). The motion control module (2) controls motion of the shading motion module (1). The shading motion module (1) comprises a shading unit (30), a drive unit (40), and a signal measurement unit (20). The shading unit (30) comprises two blades (302). The motion control module (2) sends a control signal; the drive unit (40) receives the control signal and drives the two blades (302) to operate; the signal measurement unit (20) measures and feeds back the operation state of the two blades (302) in real time to the motion control module (2); the motion control module (2) updates the control signal according to the fed back operation state. Thus, the problems of low precision of the shutter exposure dose and light leakage are resolved; requirements of various exposure doses are satisfied; and the precision of the exposure dose is controlled.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'obturation, comprenant un module de mouvement d'ombrage (1) et un module de commande de mouvement (2). Le module de commande de mouvement (2) commande le mouvement du module de mouvement d'ombrage (1). Le module de mouvement d'ombrage (1) comprend une unité d'ombrage (30), une unité d'entraînement (40), et une unité de mesure de signal (20). L'unité d'ombrage (30) comprend deux lames (302). Le module de commande de mouvement (2) envoie un signal de commande ; l'unité d'entraînement (40) reçoit le signal de commande et entraîne le fonctionnement des deux lames (302) ; l'unité de mesure de signal (20) mesure et renvoie l'état de fonctionnement des deux lames (302) en temps réel au module de commande de mouvement (2) ; le module de commande de mouvement (2) met à jour le signal de commande selon l'état de fonctionnement renvoyé. Ainsi, les problèmes de faible précision de la dose d'exposition d'obturateur et de fuite de lumière sont résolus ; les exigences de diverses doses d'exposition sont satisfaites ; et la précision de la dose d'exposition est régulée.
(ZH) 一种快门装置,包括遮光运动模块(1)和运动控制模块(2),运动控制模块(2)控制遮光运动模块(1)运动,遮光运动模块(1)包括遮光单元(30)、驱动单元(40)和信号测量单元(20),遮光单元(30)包括两个叶片(302),运动控制模块(2)发出一控制信号,驱动单元(40)接收控制信号并驱动两个叶片(302)运行,信号测量单元(20)实时测量并反馈两个叶片(302)的运行状态给运动控制模块(2),运动控制模块(2)依据反馈的运行状态更新控制信号,解决了现有的快门曝光剂量精度不高以及漏光的问题,满足各种曝光剂量的需求,控制曝光剂量的精度。
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)