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1. (WO2018166358) DEVELOPING AND BUBBLE-EXPELLING APPARATUS AND DEVELOPING MACHINE
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Pub. No.: WO/2018/166358 International Application No.: PCT/CN2018/077829
Publication Date: 20.09.2018 International Filing Date: 02.03.2018
IPC:
G03F 7/30 (2006.01) ,B01D 19/02 (2006.01)
G PHYSICS
03
PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
F
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
7
Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printed surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
26
Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
30
Imagewise removal using liquid means
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01
PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
D
SEPARATION
19
Degasification of liquids
02
Foam dispersion or prevention
Applicants:
惠科股份有限公司 HKC CORPORATION LIMITED [CN/CN]; 中国广东省深圳市 宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼 5th and 7th Floor of Factory Building 1 Jiuzhou Yangguang, Factory Buildings 1, 2, 3 of HKC Industrial Park, Privately Operated Industrial Park, Shuitian Village, Shiyan Sub-district, Baoan District Shenzhen, Guangdong 518000, CN
重庆惠科金渝光电科技有限公司 CHONGQING HKC OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; 中国重庆市 巴南区界石镇石景路1号 No.1 Shijing Rd., Jieshi, Banan District Chongqing 400054, CN
Inventors:
李飞 LI, Fei; CN
Agent:
深圳精智联合知识产权代理有限公司 SHENZHEN JINGZHI INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO. LTD; 中国广东省深圳 深圳市盐田区沙头角盐田国际创意港6栋2C Room 2C, Building 6 Yantian International Creative Harbour, Shatoujiao, Yantian shenzhen, Guangdong 518000, CN
Priority Data:
201710153680.415.03.2017CN
Title (EN) DEVELOPING AND BUBBLE-EXPELLING APPARATUS AND DEVELOPING MACHINE
(FR) APPAREIL DE DÉVELOPPEMENT ET D'EXPULSION DE BULLES ET MACHINE DE DÉVELOPPEMENT
(ZH) 显影排泡装置以及显影机
Abstract:
(EN) Disclosed are a developing and bubble-expelling apparatus and a developing machine. The developing and bubble-expelling apparatus comprises a liquid storage tank; a recycling pipe, a first extremity of the recycling pipe being used for recycling a developing liquid and a second extremity being in communication with the liquid storage tank; a bubble collector, the bubble collector being used for collecting air bubbles in the liquid storage tank; and a bubble expelling component, the bubble expelling component being used for expelling the air bubbles in the bubble collector. The bubble collector for collecting the air bubbles is provided within the liquid storage tank, and the bubbles in the bubble collector are expelled by the bubble expelling component, thus reducing the content of air bubbles in the developing liquid.
(FR) L'invention concerne un appareil de développement et d'expulsion de bulles et une machine de développement. L'appareil de développement et d'expulsion de bulles comprend un réservoir de stockage de liquide ; un tuyau de recyclage, une première extrémité du tuyau de recyclage servant à recycler un liquide de développement et une seconde extrémité étant en communication avec le réservoir de stockage de liquide ; un collecteur de bulles, le collecteur de bulles servant à collecter des bulles d'air dans le réservoir de stockage de liquide ; et un composant d'expulsion de bulles, le composant d'expulsion de bulles servant à expulser les bulles d'air dans le collecteur de bulles. Le collecteur de bulles destiné à collecter les bulles d'air est disposé à l'intérieur du réservoir de stockage de liquide, et les bulles du collecteur de bulles sont expulsées par le composant d'expulsion de bulles, ce qui réduit le contenu de bulles d'air dans le liquide de développement.
(ZH) 本申请公开一种显影排泡装置以及显影机,其中,该显影排泡装置包括储液箱;回收管路,所述回收管路的第一端用于回收显影液且第二端与所述储液箱连通;聚泡器,所述聚泡器用于收集所述储液箱内的气泡;以及,排泡组件,所述排泡组件用于将所述聚泡器内的气泡排出,储液箱内设置有收集气泡的聚泡器,并通过排泡组件能够将聚泡器内的气泡排出,以降低显影液中的气泡含量。
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)