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1. (WO2018158422) APPARATUS FOR GENERATING ACCELERATED ELECTRONS
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Pub. No.: WO/2018/158422 International Application No.: PCT/EP2018/055163
Publication Date: 07.09.2018 International Filing Date: 02.03.2018
IPC:
H01J 37/073 (2006.01) ,H01J 37/077 (2006.01) ,A61L 2/08 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06
Electron sources; Electron guns
073
Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
04
Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06
Electron sources; Electron guns
077
Electron guns using discharge in gases or vapours as electron sources
A HUMAN NECESSITIES
61
MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
L
METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION, OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS, OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS, OR SURGICAL ARTICLES
2
Methods or apparatus for disinfecting or sterilising materials or objects other than foodstuffs or contact lenses; Accessories therefor
02
using physical phenomena
08
Radiation
Applicants:
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Inventors:
WEIDAUER, André; DE
RÖGNER, Frank-Holm; DE
MATTAUSCH, Gösta; DE
BLÜTHNER, Ralf; DE
VICENTE GABAS, Ignacio Gabriel; DE
KUBUSCH, Jörg; DE
Priority Data:
10 2017 104 509.003.03.2017DE
Title (EN) APPARATUS FOR GENERATING ACCELERATED ELECTRONS
(FR) DISPOSITIF POUR PRODUIRE DES ÉLECTRONS ACCÉLÉRÉS
(DE) VORRICHTUNG ZUM ERZEUGEN BESCHLEUNIGTER ELEKTRONEN
Abstract:
(EN) The invention relates to an apparatus for generating accelerated electrons, comprising a housing (101), which delimits an evacuable space (102a; 102b) and has an electron exit window (104); an inlet for supplying a working gas into the evacuable space (102); at least one first cathode (105a; 105b) and at least one first anode (101), between which a corona discharge plasma (106) can be generated in the evacuable space (102a) by means of a first applied electric voltage, wherein ions from the corona discharge plasma (106) can be accelerated onto the surface (110) of a second cathode (107) and electrons emitted by the second cathode (107) can be accelerated in the direction of the electron exit window (104) by means of a second electric voltage applied between the second cathode (107) and a second anode (108), wherein the housing (101), the second cathode (107), and the electron exit window (104) are ring-shaped, and wherein the surface perpendiculars of the electron exit window (104) and of the surface region (110) of the second cathode (107) from which the electrons are emitted are oriented towards the ring interior of the ring-shaped housing (101). Furthermore, the ring-shaped space (102a) is divided into ring segments (113) by means of walls (112), wherein each ring segment (113) has at least one wire-shaped electrode (111), which extends through the ring segment (113) and at least one separate power supply device is associated with each ring segment (113), by means of which the strength of the electrical current, which flows through the at least one electrode (213) of a respective ring segment, is adjustable.
(FR) L'invention concerne un dispositif pour produire des électrons accélérés, comportant un logement (101), lequel délimite un espace (102a ; 102b) dans lequel un vide peut être créé et une fenêtre de sortie d'électrons (104), un orifice d'entrée pour l'amenée d'un gaz de travail dans l'espace (102) dans lequel le vide peut être créé, au moins une première cathode (105a, 105b) et au moins une première anode, entre lesquelles un plasma à décharge lumineuse (106) peut être produit dans l'espace (102a) dans lequel le vide peut être créé au moyen d'une première tension électrique appliquée. Les ions sortant du plasma à décharge lumineuse (106) peuvent être accélérés sur la surface (110) d'une deuxième cathode (107) et les électrons émis par la deuxième cathode (107) peuvent être accélérés au moyen d'une deuxième tension électrique appliquée entre la deuxième cathode (107) et une deuxième anode (108) en direction de la fenêtre de sortie d'électrons (104). Le logement (101), la deuxième cathode (107) et la fenêtre de sortie d'électrons (104) sont annulaires et les verticales à la surface de la fenêtre de sortie d'électrons (104) et de la zone de surface (110) de la deuxième cathode (107), d'où les électrons sont émis, sont orientées en direction de l'intérieur annulaire du logement (101) annulaire. En outre, l'espace (102a) annulaire est divisé en segments (113) annulaires au moyen de parois (112), chaque segment (113) annulaire comprenant au moins une électrode (111) en forme de fil, qui s'étend à travers le segment (113) annulaire et au moins un dispositif d'alimentation en courant séparé est associé à chaque segment (113) annulaire, et permet de régler l'intensité du courant électrique qui circule à travers l'électrode ou les électrodes (213) d'un segment annulaire respectif.
(DE) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen beschleunigter Elektronen, umfassend ein Gehäuse (101), welches einen evakuierbaren Raum (102a; 102b) begrenzt und ein Elektronenaustrittsfenster (104) aufweist; einen Einlass für das Zuführen eines Arbeitsgases in den evakuierbaren Raum (102); mindestens eine erste Kathode (105a, 105b) und mindestens eine erste Anode, zwischen denen mittels einer ersten angelegten elektrischen Spannung ein Glimmentladungsplasma (106) im evakuierbaren Raum (102a) erzeugbar ist, wobei Ionen aus dem Glimmentladungsplasma (106) auf die Oberfläche (110) einer zweiten Kathode (107) beschleunigbar sind und von der zweiten Kathode (107) emittierte Elektronen mittels einer zwischen der zweiten Kathode (107) und einer zweiten Anode (108) angelegten zweiten elektrischen Spannung in Richtung Elektronenaustrittsfenster (104) beschleunigbar sind, wobei das Gehäuse (101), die zweite Kathode (107) und das Elektronenaustrittsfenster (104) ringförmig ausgebildet sind und wobei die Oberflächensenkrechten des Elektronenaustrittsfensters (104) und des Oberflächenbereichs (110) der zweiten Kathode (107), aus dem Elektronen emittiert werden, zum Ringinneren des ringförmigen Gehäuses (101) ausgerichtet sind. Ferner ist der ringförmige Raum (102a) mittels Wandungen (112) in Ringsegmente (113) unterteilt, wobei jedes Ringsegment (113) mindestens eine drahtförmige Elektrode (111) aufweist, die sich durch das Ringsegment (113) hindurch erstreckt und jedem Ringsegment (113) mindestens eine separate Stromversorgungseinrichtung zugeordnet ist, mittels der die Stärke des elektrischen Stromes, der durch die mindestens eine Elektrode (213) eines jeweiligen Ringsegments fließt, einstellbar ist.
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)